中科仪（920186）在集成电路产业链中处于中游核心设备制造环节，是连接上游精密零部件与下游晶圆制造的桥梁，也是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业。在百亿级全球市场需求下，中科仪通过自主研发打破了欧美及日本企业的长期垄断，成为在先进制程及清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业，成功从供应链配角向核心配套商转变。
干式真空泵产业链结构解析
干式真空泵是集成电路制造不可或缺的关键设备，其产业链呈现清晰的上中下游结构：
- 上游：主要为泵体材料、精密加工件、电机与测控系统等基础部件。
- 中游：为干式真空泵的研发、生产与制造环节。
- 下游：直接面向晶圆制造、光伏产业以及碳化硅、砷化镓等化合物半导体的制备工艺。
从市场空间来看，据公司测算，全球集成电路产业对干式真空泵的需求达12.57万台，市场规模约125.74亿元；其中中国大陆集成电路产业的需求为5.21万台，市场规模约52.11亿元。
中科仪的产业站位与半导体国产替代
中科仪依托其三个国家级研发平台以及百余项授权专利，深度推动了半导体国产替代进程。在下游应用端，其干式真空泵已在国内各领先晶圆制造企业实现大批量应用，并成功通过台积电、大连Intel、SK海力士的测试验证且实现小批量出货，广泛应用于集成电路与光伏产业。
在技术攻关上，中科仪不仅是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，更是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，也是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业。这种全工艺段的覆盖能力，确立了其在国产替代浪潮中的核心配套地位。
常见问题
中科仪在半导体产业链中主要面临哪些风险？
在推进半导体国产替代的过程中，中科仪主要面临技术产品研发风险与市场竞争加剧风险，同时也需应对经营业绩下滑风险和公允价值变动风险。
中科仪的干式真空泵主要应用于哪些下游领域？
其产品主要直供集成电路与光伏产业，并广泛应用于碳化硅、砷化镓等化合物半导体的制备，且已实现批量交付。