面对庞大的半导体设备需求缺口，中科仪（920186）通过聚焦干式真空泵及真空科学仪器设备的研发与销售，依托在清洁、中等、苛刻全工艺流程的批量应用经验，成功打破了欧美及日本企业的长期垄断，以此加速推进国产替代步伐。公司通过不断拓宽在集成电路、光伏等下游产线的客户验证与导入，构建起稳固的主营业务壁垒。

市场需求驱动与主营业务定位

当前半导体产业链需求旺盛，据公司测算，全球集成电路产业对干式真空泵的需求达12.57万台，市场规模约125.74亿元；其中中国大陆的需求量为5.21万台，规模约52.11亿元。在此背景下，中科仪（920186）将主营业务精准定位于干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售及相关技术服务。凭借在该领域的深耕，中科仪已成为集成电路领域出货量出众的国产干式真空泵制造企业，产品大规模向集成电路与光伏产业销售。

全工艺场景覆盖与商业模式推进

在商业模式与产线导入上，中科仪通过底层技术研发建立竞争优势，目前已获得授权发明专利103项。其核心在于实现了全工艺场景的批量化应用，是同时在集成电路先进制程，以及清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业。产品不仅广泛支持国内主流晶圆制造企业及客户A等国内主流集成电路设备制造企业，还通过了台积电、大连Intel、SK海力士的测试验证并实现小批量出货。此外，在碳化硅、砷化镓等化合物半导体的制备领域，公司也已实现批量交付，持续拓展主营业务的盈利空间。

常见问题

中科仪在干式真空泵领域的市场地位如何？

中科仪是集成电路领域出货量出众的国产干式真空泵制造企业。通过持续的研发创新，公司在该领域打破了欧美及日本企业的长期垄断，是少数在先进制程实现批量应用的国产企业。

中科仪的主营产品主要应用在哪些领域？

公司的干式真空泵主要向集成电路和光伏产业销售，并广泛应用于碳化硅、砷化镓等化合物半导体的制备。目前产品已在国内各大领先晶圆制造企业实现大批量应用。

半导体干式真空泵的市场空间有多大？

据公司测算，全球集成电路产业对干式真空泵的需求达12.57万台，市场规模约125.74亿元；中国大陆集成电路产业对应的需求为5.21万台，市场规模约52.11亿元。此外，我国光伏产业对该设备的需求约6.7-8.0万台。