此前ALD设备主要依赖荷兰SMIT进口,湖南红太阳完成溅射镀PVD及ALD出货后,国产ALD设备实现了从0到1的突破,钙钛矿关键镀膜设备的自主可控迈出关键一步。不过,国产ALD在产能规模、工艺稳定性及与不同钙钛矿技术路线的匹配度上,与国际巨头仍存在差距,追赶路径尚需时间验证。
国产ALD设备的突破与现状
在钙钛矿电池的镀膜设备环节,ALD(原子层沉积)设备此前高度依赖进口,主要供应商为荷兰SMIT。湖南红太阳是目前国内已完成ALD出货的主要厂商,这一进展标志着国产ALD设备正式进入钙钛矿产线验证阶段。
从整个镀膜设备国产化全景来看,各细分品类的进展并不均衡:
| 设备类型 | 进口厂商 | 国产厂商(已出货) |
|---|---|---|
| 溅射镀PVD | — | 捷佳伟创、众能光电、京山轻机(晟成光伏)、湖南红太阳 |
| RPD | — | 捷佳伟创 |
| 蒸镀PVD | 加拿大Angstrom Engineering | 京山轻机(晟成光伏)、众能光电、合肥欣奕华、德竹芯源 |
| ALD | 荷兰SMIT | 湖南红太阳 |
可以看出,PVD领域国产化进度最快,已有多家厂商完成出货;ALD领域则刚刚实现国产突破,尚处于追赶阶段。
差距与追赶路径
国产ALD设备与荷兰SMIT的差距,主要体现在三个方面:
- 产能规模:进口设备经多年量产验证,在产能和一致性上具备优势,国产设备需要更多产线数据积累;
- 工艺稳定性:ALD镀膜对薄膜厚度和均匀性要求极高,国产设备在长时间连续运行的稳定性上仍需验证;
- 工艺匹配度:钙钛矿技术路线尚未完全定型,不同路线对ALD设备的工艺要求存在差异,国产设备需要与更多客户联合调试。
追赶的关键在于通过实际产线验证积累数据,并依托本土化服务优势(响应速度、定制化能力)逐步建立信任。这一过程需要时间,但方向已经明确。
常见问题
湖南红太阳的ALD出货意味着什么?
意味着钙钛矿产线最关键的镀膜环节之一,不再完全依赖荷兰SMIT进口,国产设备首次进入该领域,为后续规模化替代打下基础。
PVD、RPD、ALD有什么区别?
PVD是物理气相沉积,用于钙钛矿电池除钙钛矿层外的多数膜层;RPD是反应式等离子体镀膜,属于PVD的一种升级路线;ALD是原子层沉积,主要用于对薄膜精度要求极高的特定膜层。三者应用环节不同,国产化进度也有差异。
除了ALD,其他镀膜设备的国产化情况如何?
溅射镀PVD国产化最成熟,捷佳伟创、众能光电、京山轻机(晟成光伏)、湖南红太阳均已完成出货;RPD目前仅捷佳伟创完成出货;蒸镀PVD方面,加拿大Angstrom Engineering仍是进口主力,但国内已有多家厂商实现出货。