中微公司CCP刻蚀技术已实现高深宽比刻蚀的技术突破,相关产品预计一年左右进入市场。半导体设备行业的供需周期与全球晶圆厂资本开支节奏、存储厂商扩产计划高度相关,把握周期节奏需重点关注下游客户扩产进程。中微公司CCP产品进入市场的时间点,有望与国内存储厂等客户的扩产周期形成较好匹配。

中微公司CCP刻蚀技术进展

中微公司是电容性等离子体刻蚀(CCP)设备的核心国产厂商,其CCP产品已覆盖从65nm到最先进的5nm制程工艺,并成功进入台积电7nm和5nm产线,是唯一进入台积电供应链的国产刻蚀设备厂商。此前公司在CCP领域有两大欠缺:用于逻辑芯片的大马士革刻蚀,和用于3D存储芯片的高深宽比刻蚀。目前,大马士革刻蚀产品的开发工作已接近完成,初步Demo结果良好;高深宽比刻蚀技术已完成突破,产品开发顺利,预计一年左右进入市场,届时公司的CCP产品版图将趋于完整。

半导体设备供需周期与节奏把握

半导体设备的需求受晶圆厂资本开支周期和存储厂扩产节奏的明显影响。随着制程升级(如从65nm到5nm,刻蚀次数从20次增至160次)以及3D NAND存储芯片层数增加,刻蚀设备在产线中的价值量持续提升。中微公司CCP产品进入市场的时间点,恰好可能对接国内存储厂商的扩产需求周期,有助于公司把握国产替代机遇。

常见问题

中微公司CCP设备与北方华创ICP设备有何区别?

中微公司传统优势在CCP(介质刻蚀),用于氧化硅、氮化硅等硬质材料的刻蚀;北方华创则深耕ICP(硅刻蚀),用于底层电路结构的雕刻。两家公司此前竞争并不激烈,但中微公司已切入ICP赛道,未来将与北方华创形成正面竞争。

中微公司CCP设备进入市场后,对国产半导体设备格局有何影响?

中微公司CCP产品补齐高深宽比刻蚀和大马士革刻蚀后,将形成完整的CCP产品线,有望进一步提升在大陆刻蚀设备市场的份额(据SEMI数据,2020年中微公司在大陆刻蚀设备市场份额约为20%),增强国产刻蚀设备的整体竞争力。

如何判断半导体设备行业的周期拐点?

关注全球主要晶圆厂的资本开支计划、存储厂商(如长江存储等)的扩产节奏,以及国内晶圆厂的中标数据。设备订单通常领先设备交付6-12个月,通过跟踪客户招标和中标情况可辅助判断周期节奏。

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