安集科技的CMP抛光液全产品方案覆盖七大品类,技术壁垒主要体现在研磨颗粒的均匀分散控制、配方稳定性与批次一致性,以及通过台积电等国际顶级晶圆厂认证的严苛要求。
全产品方案覆盖
安集科技自2006年起深耕CMP抛光液领域,定位为“total solution”(全产品解决方案)。其产品线覆盖七大类抛光液,包括硅抛光液、铜及铜阻挡层抛光液、钨抛光液、钴抛光液、层间介质层抛光液、浅槽隔离层抛光液以及3D封装硅通孔抛光液。这些产品分别处于量产、上线或研发论证阶段,能够满足不同晶圆材料与工艺节点的抛光需求。
核心技术壁垒
技术壁垒的核心体现在三个方面。首先,研磨颗粒的均匀分散是最大难点——磨粒是抛光液最核心的组分,占原材料成本的大部分,所有磨粒的硬度和形状必须高度一致,才能保障产品的一致性和可靠性。其次,配方与工艺的Know-how积累至关重要,抛光液定制化程度高,不同客户有不同需求,生产企业需通过长期研发找到合适的组分比例及稳定的制作工艺。第三,通过台积电等头部客户认证是行业公认的门槛,涉及材料纯度、颗粒控制、批次稳定性等多方面严苛要求,安集科技已成功成为台积电供应商,同时获得中芯国际、长江存储、华虹宏力等大陆主流晶圆厂的高度认可。
常见问题
安集科技的CMP抛光液主要有哪些类型?
安集科技的产品覆盖七大类抛光液,包括硅抛光液、铜及铜阻挡层抛光液、钨抛光液、钴抛光液、层间介质层抛光液、浅槽隔离层抛光液和3D封装硅通孔抛光液,可满足从硅片初步加工到先进制程芯片制造的全流程需求。
安集科技通过台积电认证意味着什么?
通过台积电认证是行业内的关键壁垒,代表产品在材料纯度、研磨颗粒控制、批次一致性等方面达到国际顶尖晶圆厂的严苛标准,安集科技已连续多年位列台积电供应商名单。
安集科技在原材料方面有何布局?
安集科技在持续采购海外高性能研磨颗粒的同时,也在建设专门的材料基地,用于研发和生产高端磨粒及电子级添加剂等关键原材料,以逐步提升原材料的自主可控能力。