在光刻胶最上游的单体环节,国产替代已形成较高覆盖度:徐州博康拥有品种最多、产量最大的KrF和ArF单体,其中ArF单体共有200多种、覆盖80%以上,部分品种为独家产品;除信越化学外,其他头部光刻胶厂商均为其客户,同时企业已打通除单体以外的其他原材料,实现自主可控。但这一覆盖度主要体现在单体环节,高端成膜树脂等更薄弱领域仍是国产替代需要持续突破的方向。

单体环节:国产覆盖度为何值得关注

光刻胶原材料主要包括溶剂、光引发剂、成膜树脂和添加剂(含单体)。从价值量看,成膜树脂约占材料成本的50%,单体约占35%。单体是合成树脂的核心原料,其性能直接影响光刻胶质量,纯度要求达到99.5%,金属离子含量需小于十亿分之一。

也正因门槛高,能够稳定供应合格单体的厂商全球只有四五家。徐州博康从化学定制合成起步,曾是几家日本光刻胶头部企业的中国合作商,主要提供原料单体的开发服务,多年积累后形成了品种与产量优势。据公司负责人透露,外销方面除信越化学外,其他头部光刻胶厂商都是其客户;自用方面,公司已打通除单体以外的其他原材料。

自主可控:单体之外还有硬仗

单点突破不等于全链贯通。成膜树脂是价值量最大、也是国内最薄弱的环节——即使是较低端的G线环化橡胶树脂和I线线性酚醛树脂,国内也主要依赖进口,国产化水平很低;高端ArF树脂则面临买不到的局面。树脂产业化难在两点:一是合成技术的Know-how积累,二是单体的稳定供应。目前最常用的是自由基聚合,活性自由基聚合尚未实现工业化;阴离子聚合虽能更好控制分散度、改善线宽粗糙度,但工业化条件苛刻,只有少数公司在产业化上做得很好。

在单体之外的其他原材料上,国内企业表现相对较好:溶剂主要成分PMA,国内产能占全球总产量的35%;光引发剂领域,国产龙头久日新材产品在国内市占率已接近三成。

常见问题

ArF单体国产替代目前处于什么水平?

徐州博康的ArF单体共有200多种,覆盖80%以上,其中一些单体是其独家产品。从品种覆盖和客户结构看,单体环节的国产替代已具备较高覆盖度,客户覆盖除信越化学外的头部光刻胶厂商。

为什么单体做得好,光刻胶仍难说完全自主可控?

因为光刻胶原材料中价值量最大的是成膜树脂,约占材料成本的50%,而这一环节国内最为薄弱,低端品类也主要依赖进口,高端ArF树脂更难获取。单体领先只是产业链自主可控的一个环节。

判断半导体材料国产替代进度应看什么?

建议分层看:单体等环节已形成较高覆盖度,可关注品种数量、独家品种与客户结构;树脂等薄弱环节则要看合成技术积累与单体稳定供应能力。具体进展以官方后续公布及第三方实测为准。