ArF光刻胶树脂价值量占比超97%,其市场规模增长主要受先进制程扩产和国产化率提升的双重驱动。随着制程节点向7nm及以下迈进,ArF光刻胶(包括干法和浸没式)的用量显著增加,同时国产替代进程加速,为上游原材料尤其是树脂环节带来增量空间。
ArF光刻胶树脂的核心地位
在光刻胶原材料中,成膜树脂是价值量最高的部分,占总材料成本的50%左右。对于高端ArF光刻胶,树脂的价值量占比更是超过97%。树脂作为光刻胶的骨架,决定了曝光后的线宽、边缘粗糙度等关键性能,是光刻胶自主可控的核心环节。
目前,高端ArF树脂的供应仍高度集中于海外企业,国产化水平较低,这为国产替代提供了明确的市场增量。
增长驱动力:先进制程扩产与国产替代
- 先进制程扩产驱动需求:ArF光刻胶主要应用于12英寸晶圆的先进制程(65nm至10nm)。随着7nm及以下制程的持续扩产,光刻工艺步骤增加,ArF光刻胶的用量随之提升。根据行业预测,ArF光刻胶市场规模预计在2025年达到8.84亿美元,保持稳定增长。
- 国产替代打开增量空间:在ArF光刻胶领域,以徐州博康、晶瑞电材为代表的国产厂商已实现从零到一的突破。上游原材料中,单体供应环节已有国内企业覆盖ArF单体80%以上品种,树脂环节的国产化则处于加速布局阶段,这将直接带动ArF光刻胶树脂的市场规模增长。
常见问题
ArF光刻胶树脂的国产化难点是什么?
主要难点在于合成技术的Know-how积累和单体的稳定供应。树脂合成需要精确控制分子量分布,目前高端树脂的产业化仍由信越化学、JSR等少数日本企业主导。同时,单体纯度需达到99.5%以上,金属离子含量小于10亿分之一,稳定供应单体的全球供应商仅四五家。
哪些国内企业在ArF光刻胶树脂领域有布局?
在树脂环节,彤程新材、圣泉集团等国内企业已开始布局。在更上游的单体领域,徐州博康(华懋科技参股)已覆盖ArF单体80%以上品种,并成为多家日本头部光刻胶企业的供应商,实现了从单体到树脂的自主可控。
制程越小,光刻胶用量越大吗?
是的。随着制程节点缩小(如从28nm向7nm演进),光刻工艺步骤显著增加,每一步都需要使用光刻胶。因此,先进制程的扩产会直接拉动ArF光刻胶及其树脂的需求量增长。