ArF光刻胶树脂的价值量占比超过97%，是光刻胶成本中绝对的核心，但目前高端ArF树脂几乎完全依赖海外，甚至“想买都买不到”。在国产厂商中，徐州博康是最有机会率先突破ArF树脂高端化的厂商，其优势在于从单体环节切入、已打通全产业链，并在ArF单体上覆盖了80%以上的品种。
为什么成膜树脂是关键？
光刻胶的原材料主要包括溶剂、光引发剂、成膜树脂和添加剂四类。虽然溶剂在含量上占比最高（50%-90%），但从价值量看，成膜树脂才是核心，约占总材料成本的50%，其次是占比35%的单体。在ArF这类高端光刻胶中，树脂的价值量占比更高，可达97%以上。
成膜树脂是高分子聚合物，由多种单体共聚而成，其结构设计直接决定光刻胶能形成的线宽，进而影响曝光能量和边缘粗糙度等关键参数。目前各类光刻胶所需的树脂几乎全部由海外垄断，即使是低端的G线、I线树脂也主要依赖进口，高端ArF树脂更是难以获取。
国产厂商的布局与突围路径
成膜树脂产业化的难点集中在两方面：一是合成技术的Know-how积累，二是单体的稳定供应。目前国内已有多家公司布局光刻胶原材料，各家的切入点和进展有所不同：
| 厂商 | 布局环节 | 特点 |
|---|---|---|
| 徐州博康 | 单体→树脂全链条 | 从单体开发起步，ArF单体覆盖80%以上，已打通全部原材料 |
| 彤程新材 | 树脂 | 国内树脂领域布局厂商之一 |
| 圣泉集团 | 树脂 | 国内树脂领域布局厂商之一 |
| 强力新材 | 树脂、光引发剂 | 同时在树脂和光引发剂领域布局 |
徐州博康的路径最为特殊：这家公司最初做化学定制合成，是几家日本光刻胶头部企业的中国合作商，主要提供原料单体的开发服务。经过多年积累，博康已拥有品种最多、产量最大的KrF和ArF单体，其中ArF单体共有200多种，博康覆盖了80%以上，部分甚至是独家产品。在外销方面，除信越化学外，其他头部光刻胶厂商都是博康的客户；在自用方面，公司也打通了除单体以外的其他原材料，实现了自主可控。
常见问题
为什么ArF树脂比KrF树脂更难突破？
ArF光刻胶用于更先进的制程（65-130nm干法、45-10nm浸没式），对树脂的分子量分布（PDI）、线宽粗糙度（LWR）等指标要求更苛刻。目前能实现阴离子聚合工业化并控制PDI的，只有信越化学、JSR等少数日本公司，国内企业主要掌握的是自由基聚合路线，在高端性能上仍有差距。
单体的稳定供应为什么是树脂国产化的前提？
单体是合成树脂的核心原料，其性能直接影响光刻胶质量——纯度要求达到99.5%，金属离子含量要小于十亿分之一。目前全球能稳定供应高质量单体的供应商只有四五家，单体的质量和供应稳定性直接决定了树脂产业化的可行性。
除了树脂，其他原材料国产化进展如何？
相比树脂，其他原材料国内进展较好。溶剂的主要成分PMA国内产能占全球总产量的35%；光引发剂领域，国产龙头久日新材的产品在国内市占率已接近三成。相对而言，成膜树脂是价值量最大、同时也是我国最薄弱的环节。