全球CMP材料市场确实由美企主导,但中国厂商已不再是旁观者。在抛光液领域,卡博特微电子在2018年全球市场中占据36%的份额,为第一大厂商;在抛光垫领域,美国杜邦在2019年全球市场中占据79%的份额,处于绝对领先地位。中国厂商方面,安集科技已成为台积电供应商并持续拓展海外客户,鼎龙股份则计划在软垫产线投产后全力发力海外市场。总体来看,中国CMP材料厂商在技术积累和客户认证上已取得实质性突破,但在全球市场份额上仍处于追赶者位置,竞争优势主要体现在国产替代需求旺盛的国内市场以及对部分细分产品的性价比突破。
全球CMP材料格局:美企主导,国产突围
CMP(化学机械抛光)是仅次于光刻、刻蚀和薄膜沉积的第四大半导体制造工艺,其核心材料为抛光液和抛光垫,价值量占比分别为49%和33%。这两类材料长期由美企主导:抛光液市场以卡博特微电子为代表,2018年其全球份额为36%;抛光垫市场则由杜邦绝对领先,2019年全球份额高达79%。由于日韩厂商在细分产品上难以替代,国内晶圆厂对CMP材料的国产化诉求很高,这为中国厂商提供了难得的市场机遇。
中国厂商的全球位置:从国内替代走向出海
安集科技是国内抛光液领域的代表企业。自2006年成立以来,公司专注于CMP抛光液业务,产品覆盖七大类别,主力产品不仅获得大陆晶圆厂高度认可,还成功进入台积电供应链,成为其供应商。在原材料端,安集科技仍在推进磨粒等关键原材料的自主可控,以进一步提升盈利能力。
鼎龙股份则是国内唯一实现抛光垫量产的企业。公司依托在高分子合成领域的技术积累,突破了聚氨酯孔洞结构规整程度这一核心壁垒,硬垫产品覆盖28nm及以上全部制程,在部分晶圆厂内已达到一供地位。公司在软垫产线投产后将具备全系列、全制程抛光垫生产能力,并计划以此为基础全力拓展海外市场。
常见问题
中国CMP材料厂商与海外巨头差距有多大?
在技术层面,抛光液的核心难点在于磨粒控制与配方Know-how积累,抛光垫的核心难点在于聚氨酯孔洞结构的规整程度,这些领域的技术专利仍主要掌握在海外厂商手中。但安集科技、鼎龙股份已在产品认证和客户导入上取得突破,差距正在缩小,尤其在存储芯片等细分领域,国产抛光垫的部分产品效率已具备竞争力。
安集科技和鼎龙股份谁在全球市场更有优势?
两家公司的路径不同。安集科技在抛光液领域已实现台积电等海外客户导入,全球化布局更早;鼎龙股份则在抛光垫领域实现量产突破,计划在软垫产线投产后发力海外。两者分别在抛光液和抛光垫两大核心材料上形成了各自的比较优势,共同构成了中国CMP材料出海的“双引擎”。
国产CMP材料替代进口的进度如何?
在国内市场,安集科技的抛光液和鼎龙股份的抛光垫均已获得长江存储、中芯国际等主流晶圆厂的认证与采购。随着国内晶圆厂扩产以及国产材料性能持续提升,CMP材料的国产化率有望逐步提高。海外市场的拓展则仍处于起步阶段,需以客户认证的持续推进为准。