CMP材料(化学机械抛光用抛光液与抛光垫)是半导体制造的核心耗材,当前全球市场主要由美国企业主导,但国内产业政策正通过大基金投资、税收优惠、国产化率考核等机制,系统性地推动本土供应链的自主可控,并已培育出安集科技(抛光液)和鼎龙股份(抛光垫)两家具备竞争力的龙头厂商。
政策如何推动国产替代
产业政策对CMP材料自主可控的推动,主要体现在三个层面:
- 资本引导:国家大基金等产业资本对半导体材料环节进行重点投资,为本土厂商的研发投入和产能建设提供资金支持,降低企业在长周期、高投入的材料研发中的资金压力。
- 需求侧牵引:国内晶圆厂对CMP材料的国产化诉求很高。由于抛光液和抛光垫由美企主导,部分细分产品难以在日韩找到替代品,晶圆厂在政策引导下倾向于优先导入国产材料,为本土厂商提供验证和量产的机会。
- 研发与产业化支持:政策鼓励企业突破核心技术壁垒,例如抛光液的磨粒控制与配方Know-how、抛光垫的聚氨酯孔洞结构规整度等关键难题,并通过首台(套)保险等机制降低用户使用国产新材料的风险。
本土龙头企业的进展
在政策与市场需求的双重驱动下,国内CMP材料厂商已取得实质性突破:
抛光液领域,安集科技自成立起便致力于CMP抛光液业务,定位全产品解决方案,七大类抛光液中产品已覆盖多个品类。其主力产品不仅获得大陆晶圆厂高度认可,还成功进入台积电供应链,成为其供应商。在原材料端,公司也在推进高端磨粒及电子级添加剂等关键原材料的自主可控。
抛光垫领域,鼎龙股份是国内唯一实现抛光垫量产的企业。公司依托在高分子合成领域的技术积累,已实现核心原材料的自产化,硬垫产品覆盖28nm以上全部制程,客户包括长江存储、中芯国际等国内主流晶圆厂,部分晶圆厂内已达到一供地位。随着软垫产线投产,公司正计划将竞争重点延伸至海外市场。
常见问题
为什么CMP材料如此重要?
CMP(化学机械抛光)是继光刻、刻蚀、薄膜沉积之后的第四大半导体制造工艺,对晶圆进行全局平坦化处理,精度需达到纳米级。抛光液和抛光垫是其两大核心材料,价值量占比分别为49%和33%,直接决定芯片制造的良率与性能。
国产CMP材料与国际水平的差距在哪里?
主要差距集中在原材料和工艺经验:抛光液的磨粒核心技术仍由海外巨头垄断,配方配比依赖长期积累的Know-how经验;抛光垫的聚氨酯孔洞结构规整程度是核心难题,相关专利长期掌握在海外大厂手中。不过,国内头部企业已通过持续研发逐步缩小差距。
政策支持对投资者意味着什么?
产业政策为CMP材料国产化提供了明确的长期方向,但材料企业的成长最终取决于技术突破、客户验证和市场拓展的实际进展。对于投资者而言,应关注企业在研发投入、产品认证和客户导入方面的实质性进展,而非短期政策消息。