抛光液在CMP材料中的价值量占比达49%,是CMP环节最核心的材料;半导体材料领域的政策监管与产业支持,正在从资金扶持、研发立项和出口管制三个层面共同加速国产替代进程。 其中,国家集成电路产业投资基金(大基金)对国内头部CMP材料企业的投资支持、科技部重点研发计划对抛光液与抛光垫项目的资助,以及出口管制政策对进口依赖的倒逼效应,构成了当前产业政策影响的主线。

政策支持与产业扶持

在半导体材料领域,政策支持呈现“资金+项目”双轮驱动的格局。国家集成电路产业投资基金(大基金)作为产业投资的重要力量,重点布局了CMP材料等关键环节的国内头部企业。与此同时,科技部重点研发计划也将抛光液、抛光垫等关键材料项目纳入资助范围,推动企业在磨粒、聚氨酯孔洞结构等核心技术上实现突破。

从产业格局看,国内CMP材料企业已具备较强的技术积累。抛光液领域,安集科技自成立起即专注于CMP抛光液业务,产品覆盖七大类别,不仅获得大陆晶圆厂高度认可,还成功进入台积电供应链;抛光垫领域,鼎龙股份实现了量产突破,硬垫产品覆盖28nm以上全部制程,并计划拓展海外市场。两家企业在各自细分领域均处于国内领先梯队,具备较强的国际竞争力。

出口管制与国产替代

出口管制政策对CMP材料的国产替代产生了显著的倒逼效应。抛光液和抛光垫市场长期由美企主导,杜邦和卡博特微电子占据绝大多数份额,部分细分产品在日韩也难以找到替代品。这使得国内晶圆厂对CMP材料的国产化诉求很高,政策层面的出口管制进一步强化了这一趋势。

在这一背景下,国内企业的替代进程明显提速。安集科技在原材料端持续寻求自主可控,建设材料基地用于研发生产高端磨粒及电子级添加剂等关键原材料;鼎龙股份则实现了核心原材料的自产化,并在存储芯片领域实现部分抛光垫产品的效率提升,有效降低用户成本。两家企业的进展,体现了政策驱动下国产替代从“可用”向“好用”迈进的趋势。

常见问题

CMP抛光液为什么价值量占比最高?

抛光液是CMP过程中化学作用的核心载体,其成分复杂,包括氧化剂、磨粒、络合剂等多种组分,且定制化程度高,不同客户需要不同配方。同时,磨粒作为最核心组分,占原材料成本的比例较高,其硬度和形状控制是生产难点,这些因素共同推高了抛光液在CMP材料中的价值占比。

大基金对CMP材料企业的支持主要体现在哪些方面?

大基金作为国家集成电路产业投资基金,主要通过对国内头部CMP材料企业进行股权投资,帮助其扩大产能、加强研发。这种资金支持与科技部重点研发计划的项目资助形成互补,前者解决企业发展的资金瓶颈,后者聚焦核心技术攻关,共同推动国产CMP材料的产业化进程。

出口管制对CMP材料国产替代有多大影响?

出口管制强化了供应链安全的紧迫性。由于抛光液和抛光垫市场高度集中于美企,出口管制风险促使国内晶圆厂加速导入国产材料。从产业实际进展看,国内企业在抛光液和抛光垫领域均已实现量产突破并获得主流晶圆厂认证,部分产品已具备与海外厂商竞争的实力,出口管制在客观上加速了这一进程。