CMP抛光垫的材质差异(硬垫与软垫)直接决定了其在产业链中的价值分配:全球范围内,硬垫(聚氨酯)与软垫(无纺布类)的价值量比例约为1:8,国内这一比例约为1:10。这意味着硬垫贡献了绝大部分的行业价值,其技术溢价与品牌溢价远高于软垫,而软垫企业则面临更薄的利润空间,盈利更依赖规模与成本控制。

硬垫 vs. 软垫:价值量差异的根源

硬垫(聚氨酯材质)在CMP抛光垫中占据绝对主导地位。其高价值量源于:

  • 技术门槛高:聚氨酯的孔洞结构规整程度是核心难点,相关生产专利长期掌握在海外巨头(如杜邦)手中,国内仅鼎龙股份等少数企业实现量产突破。
  • 应用广泛:硬垫适用于铜、钨、氧化物等多数主流工艺,是CMP过程中的主力耗材。

软垫(无纺布、带绒毛无纺布)价值量远低于硬垫,原因包括:

  • 技术门槛相对较低:软垫的压缩性、弹性等指标更易实现,竞争格局相对分散。
  • 用量较少:软垫主要应用于先进制程的部分环节(如铜barrier),国内使用比例更低,进一步压缩了其市场空间。

产业链价值分配:制造商与晶圆厂的博弈

在CMP抛光垫的价值链中:

  • 抛光垫制造商(尤其是硬垫供应商)占据价值分配的大头。硬垫的高技术壁垒和品牌溢价使其拥有较强的议价能力,全球市场高度集中于杜邦等美企。
  • 晶圆厂作为下游客户,成本转嫁能力较强,但出于供应链安全考虑,对抛光垫的国产化诉求强烈,这为国内企业提供了替代进口的机遇。

软硬垫配比变化对价值重分配的影响

当前全球软硬垫价值量比约为1:8,国内为1:10。若未来软垫渗透率提升(例如在更先进制程中应用增加),后端软垫企业的价值占比有望提高。不过,软垫的利润空间仍显著低于硬垫,其盈利模式更依赖于规模化生产与成本控制能力。

常见问题

国内软硬垫价值比例为何低于全球水平?

国内软硬垫价值量比例约为1:10,低于全球的1:8,主要因为软垫在先进制程中应用更多,而国内先进制程占比相对较低,导致软垫用量偏少。

硬垫的核心技术壁垒是什么?

硬垫(聚氨酯)的孔洞结构规整程度是决定抛光效率的关键,也是技术壁垒所在。这部分生产专利长期被海外巨头垄断,国内企业需突破微细而均匀孔洞结构的制造工艺。

国内哪家企业在抛光垫领域实现了量产突破?

鼎龙股份是国内唯一实现抛光垫量产的企业,其硬垫产品已覆盖28nm及以上制程,并计划在软垫产线投产后达成全系列抛光垫生产能力。

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