全球CMP抛光垫中,软硬垫价值量比例约为1:8,而中国这一比例约为1:10,即软垫使用更少。 这一差异的核心原因在于,国内晶圆厂目前以成熟制程为主,对硬垫的需求更大;同时,全球硬垫市场长期由欧美日企业主导,技术壁垒较高。
全球格局:硬垫主导,欧美日垄断
全球CMP抛光垫市场中,硬垫(主要为聚氨酯材质)是应用最广泛的产品,软垫(无纺布及带绒毛结构的无纺布)主要应用于先进制程。从竞争格局看,美国杜邦公司一家独大,占据了全球约79%的市场份额,其余份额由美国卡博特微电子、日本富士纺、日本JSR等企业分享。这种垄断格局使得硬垫的技术专利和供应链高度集中。
中国差异:制程结构决定需求结构
中国软硬垫比例(约1:10)低于全球平均水平(1:8),主要是因为国内晶圆厂以28nm及以上成熟制程为主,而硬垫恰好是这些制程的主力抛光耗材。软垫在先进制程(如铜阻挡层抛光)中应用更广,因此国内软垫的用量相对较少。这也反映出中国半导体产业在先进制程领域的渗透率仍有提升空间。
国产追赶:软垫是突破口
在硬垫领域,国内企业如鼎龙股份已实现量产,产品覆盖28nm以上全部制程,并在部分存储芯片领域效率表现突出。软垫方面,鼎龙股份的软垫产线投产,标志着其具备全系列抛光垫生产能力。软垫的技术难点在于无纺布工艺和孔洞规整度,这部分专利曾长期被海外巨头掌握。随着国产厂商在软垫领域的技术突破和成本优势积累,未来中国软垫渗透率有望提升,进而对全球软硬垫比例格局产生调整。
常见问题
全球CMP抛光垫市场由哪些国家主导?
全球CMP抛光垫市场由美国主导,尤其是杜邦公司,其市场份额高达约79%。此外,日本(如JSR、富士纺)和韩国(如KC Tech)也有一定参与,但整体格局呈现高度集中的特征。
国内软硬垫比例低于全球,是否意味着技术落后?
不完全是。国内比例较低(约1:10 vs 全球1:8)主要反映了当前国内晶圆厂以成熟制程为主的产业现状,硬垫需求更大。随着国产厂商在软垫领域的技术突破和先进制程的逐步导入,这一比例有望向全球水平靠拢。
国产CMP抛光垫的主要玩家是谁?
国内CMP抛光垫领域的主要量产企业是鼎龙股份。该公司从打印耗材转型进入半导体材料领域,已实现硬垫量产,并在软垫产线投产后具备全系列抛光垫生产能力。