全球CMP抛光垫市场长期由美企主导,2019年全球抛光垫竞争格局中,美国杜邦占据约79%份额,美国卡博特微电子占约5%,专利与技术壁垒集中于海外大厂。国内晶圆厂对CMP材料国产化诉求强烈,产业政策与供应链安全考量形成合力,推动以鼎龙股份为代表的国产厂商加速突破——鼎龙股份已实现抛光垫量产,硬垫产品覆盖28nm以上全部制程,并于2021年实现核心原材料自产化,成为国产替代的关键力量。
全球格局:美企主导,国产诉求强烈
不同于硅片和光刻胶由日企主导,CMP两大核心材料抛光液与抛光垫完全由美企主导,部分细分产品很难在日韩找到替代品。2019年全球抛光垫市场中,美国杜邦、卡博特微电子、TWI合计占据绝大部分份额。这种高度集中的供应格局,使国内晶圆厂对CMP材料自主可控的诉求尤为迫切,也构成产业政策发力的现实起点。
政策与需求合力:从打印耗材到半导体材料
抛光垫的核心难点在于聚氨酯孔洞结构的规整程度,相关生产专利长期掌握在海外巨头手中。国内产业政策对半导体材料自主化的扶持,与晶圆厂验证导入意愿形成合力。鼎龙股份最初从事打印耗材,在材料领域有较强技术积累,2012年左右因抛光垫所需材料与高分子合成技术相通,切入半导体材料领域。 截至2018年8月,其专利数量在国内抛光垫领域位居前列,填补了国内在抛光垫原材料和制作方面的专利空白,并于2021年实现核心原材料自产化。
国产化进展:量产落地与全制程能力
目前国内只有鼎龙股份实现了抛光垫产品量产。其硬垫产品覆盖28nm以上全部制程,客户包括长江存储、武汉新芯、中芯国际、长鑫存储等国内主流晶圆厂,部分晶圆厂内达到一供地位。潜江工厂软垫产线投产后,公司将达成全系列和全制程的抛光垫生产能力,并计划全力拓展海外市场。
| 维度 | 情况 |
|---|---|
| 全球主导方 | 美国杜邦(2019年约79%)、卡博特微电子(约5%) |
| 核心难点 | 聚氨酯孔洞结构规整程度,专利集中于海外大厂 |
| 国产代表 | 鼎龙股份,国内唯一实现抛光垫量产 |
| 制程覆盖 | 硬垫覆盖28nm以上全部制程 |
| 原材料 | 2021年实现核心原材料自产化 |
常见问题
产业政策如何影响CMP抛光垫国产化进程?
产业政策通过扶持半导体材料自主化,与国内晶圆厂的高国产化诉求形成合力。这种合力降低了国产厂商的验证导入门槛,推动鼎龙股份等企业从技术突破走向量产落地,并逐步实现核心原材料自产化。
鼎龙股份在CMP抛光垫国产化中处于什么位置?
鼎龙股份是国内目前唯一实现抛光垫量产的企业,硬垫产品覆盖28nm以上全部制程,部分产品在存储芯片领域效率表现获得客户认可,并在部分晶圆厂内达到一供地位。其专利填补了国内在抛光垫原材料和制作方面的空白。
国产CMP抛光垫与海外厂商的差距在哪里?
核心差距在于聚氨酯孔洞结构的规整程度,相关生产专利长期由海外巨头掌握。国产厂商需突破技术壁垒,生产出具备微细而均匀孔洞结构的抛光垫,这是国产化的关键所在。