政策与监管正从“扶持供给”与“倒逼需求”两端同时发力,加速CMP抛光垫等半导体材料的全制程国产化进程。 一方面,国家产业政策通过大基金、重大专项等机制为本土材料企业提供研发与产能支持;另一方面,海外出口管制等外部监管压力,正促使下游晶圆厂把供应链安全置于更高优先级,从而为国产CMP抛光垫进入主流产线创造窗口。在这一过程中,国产厂商鼎龙股份已实现抛光垫核心原材料自产化,其硬垫产品覆盖28nm以上全部制程,并计划通过潜江工厂软垫产线投产达成全系列、全制程抛光垫生产能力。

政策扶持:为国产化“修路搭桥”

CMP抛光垫长期由美企主导,全球市场高度集中于杜邦等海外巨头,这种供给结构使国内晶圆厂对国产替代的诉求尤为强烈。在此背景下,国家大基金、科技重大专项等政策工具,为鼎龙股份这类从材料端切入半导体的企业提供了关键支撑。

以鼎龙股份为例,其凭借在高分子合成领域的技术积累,自2012年前后进入半导体材料领域,并在核心原材料端实现自产化突破。这种“从原材料到成品”的垂直突破,正是政策鼓励的自主可控路径——只有掌握上游原材料,才能避免在关键环节被“卡脖子”。政策资金与资源倾斜,帮助本土企业在研发周期长、验证门槛高的CMP材料领域持续投入,逐步缩小与海外巨头的差距。

监管压力:倒逼下游加速采用

外部监管环境的变化,正在重塑产业链的采购逻辑。当海外出口管制等限制措施加码时,下游晶圆厂对供应链韧性的考量,会显著超过对单一产品性能的追求。这种压力传导机制,使国产CMP抛光垫从“备选方案”转变为“战略必需”。

国内主流晶圆厂如长江存储、中芯国际、长鑫存储等,已在部分产品上给予鼎龙股份一供地位,这本身就说明国产抛光垫在性能与稳定性上已通过严苛的产线验证。监管压力加速了这一进程——当外部供给不确定性上升,国产材料获得更多验证机会与导入窗口,形成“压力-导入-验证-放量”的正循环

行业标准与认证:进入主流产线的“入场券”

半导体材料进入晶圆厂产线,必须经过漫长而严格的认证流程。行业标准与认证体系,既是国产抛光垫面临的门槛,也是其建立公信力的背书。

鼎龙股份的硬垫产品在Oxide、STI、W、Cu、Al等工艺上已覆盖28nm及以上制程,14nm节点部分产品已通过认证、部分仍在测试推进中。这一认证进度表明,国产抛光垫已跨越“可用”门槛,正在向“好用”迈进。随着行业标准体系逐步完善,认证通过的国产材料将获得更清晰的准入路径,有助于在更多晶圆厂实现批量供应。

常见问题

国产CMP抛光垫目前处于什么水平?

鼎龙股份是国内唯一实现抛光垫量产的企业,硬垫产品已覆盖28nm以上全部制程,并在存储芯片领域部分产品效率优于海外品牌。软垫产线投产后,公司将具备全系列、全制程抛光垫生产能力。

政策对CMP材料国产化的支持主要体现在哪些方面?

政策支持主要体现在研发投入、产能建设与产业链协同等方面,通过大基金、重大专项等机制,帮助本土企业在原材料自产化、产品认证等关键环节持续突破,增强产业链自主可控能力。

外部监管压力对国产抛光垫是利是弊?

外部监管压力短期带来供给不确定性,但中长期看,它促使下游晶圆厂将供应链安全置于更高优先级,为国产抛光垫创造了更多验证与导入机会,客观上加速了国产替代进程。