CMP抛光液的市场规模增长,核心驱动力来自先进制程推进、3D NAND堆叠层数提升以及晶圆产能扩张带来的用量增加,而磨粒作为占原材料成本50%-70%的核心组分,其成本结构直接影响行业规模测算。

先进制程与3D NAND:用量提升的两大引擎

CMP(化学机械抛光)是半导体制造的第四大工艺,作用是对晶圆进行全局平坦化处理。随着制程节点向更先进方向推进,芯片内部结构愈发复杂,所需的CMP步骤数量随之增加,抛光液用量也相应上升。

在存储芯片领域,3D NAND通过增加堆叠层数来提升存储密度,每增加一层都需要额外的平坦化处理,直接拉动抛光液消耗。根据抛光液的分类体系,铜及铜阻挡层抛光液、钨抛光液等产品在逻辑和存储芯片制造中均需大量使用,其中钨抛光液在存储芯片中用量显著。

磨粒成本占比与市场规模测算

抛光液成分复杂,包括氧化剂、磨粒、络合剂、表面活性剂等,其中磨粒是抛光液最核心的组分,约占原材料成本的50%-70%。磨粒的硬度和形状一致性是生产壁垒所在,目前核心技术仍由海外巨头掌握。

这一成本结构对市场规模测算有直接影响:磨粒成本占比高,意味着抛光液的需求增长会同步传导至上游磨粒供应链;同时,抛光液定制化程度高,配方调配依赖长期技术积累,这构成了行业进入壁垒,也支撑了产品的价值量。

晶圆产能扩张与国产化进程

晶圆产能扩张和新 fab 建设是抛光液需求的另一重要来源。CMP 材料中,抛光液和抛光垫的价值量占比分别为49%和33%,是两大核心材料。国内方面,安集科技在抛光液领域已实现突破,产品获得大陆晶圆厂高度认可,并成为台积电供应商;鼎龙股份则在抛光垫领域实现量产,硬垫产品覆盖28nm以上全部制程。

常见问题

CMP抛光液磨粒成本占比为什么高?

磨粒是抛光液中最核心的组分,通过机械方式去除抛光工件表面多余材料,约占原材料成本的50%-70%。磨粒的硬度和形状直接影响抛光效果,生产壁垒高,目前核心技术仍由海外巨头垄断。

3D NAND堆叠层数增加如何影响抛光液需求?

3D NAND堆叠层数提升意味着每增加一层都需要额外的平坦化处理,CMP步骤随之增加,直接拉动抛光液消耗。存储芯片制造需大量使用铜及铜阻挡层抛光液和钨抛光液。

国产抛光液厂商的竞争力如何?

国内安集科技在七大类抛光液产品中均有布局,主力产品获得大陆晶圆厂高度认可,并已成为台积电供应商。公司还在建设材料基地,推进磨粒等关键原材料的自主可控。

延伸阅读