CMP(化学机械抛光)是仅次于光刻、刻蚀和薄膜沉积的第四大半导体制造工艺,其核心材料为抛光液与抛光垫,价值量占比分别约为49% 和33%。从竞争格局看,全球市场长期由美系厂商主导,而国内企业在抛光液与抛光垫环节均已有代表性龙头实现量产突破,并开始向海外市场延伸。
全球竞争格局:美系厂商主导
在CMP材料领域,全球市场呈现明显的美系主导格局。抛光液方面,杜邦公司和卡博特微电子占据了绝大多数市场份额,部分细分产品在日韩难以找到替代品。抛光垫方面,美国杜邦以约79% 的份额居于绝对领先地位,卡博特微电子、美国TWI、日本富士纺等紧随其后。这种高度集中的格局,使得国内晶圆厂对CMP材料的国产化诉求很高。
国产龙头:抛光液与抛光垫的双线突破
与硅片和光刻胶多由日企主导不同,CMP材料的国产替代路径相对清晰,在两大核心材料上各有一家代表性企业实现突破。
抛光液环节的龙头是安集科技。 公司自成立起便致力于CMP抛光液业务,定位全产品解决方案,产品覆盖七大类抛光液。其主力产品不仅获得大陆晶圆厂高度认可,还成功进入台积电供应链,成为其供应商。在原材料端,安集科技也在推进磨粒等关键原材料的自主可控。
抛光垫环节的龙头是鼎龙股份。 公司依托在高分子合成领域的技术积累,于2012年前后切入半导体材料领域,并成功突破聚氨酯孔洞结构规整程度这一核心技术难题,成为国内唯一实现抛光垫量产的企业。其硬垫产品覆盖28nm以上全部制程,在存储芯片领域部分产品效率表现突出,客户包括长江存储、中芯国际等国内主流晶圆厂,部分晶圆厂内已达到一供地位。
国产替代与出海趋势
从产业趋势看,CMP材料的国产化进程正从“替代进口”走向“出击海外”。安集科技的抛光液已实现向台湾地区头部晶圆厂的输出;鼎龙股份在软垫产线投产后,将具备全系列、全制程的抛光垫生产能力,并计划将竞争重心延伸至海外市场。相较于硅片和光刻胶,CMP材料在国产替代道路上的竞争压力相对较小,头部企业的技术积累与客户认证已形成较强壁垒。
常见问题
CMP材料中哪个环节的价值量最高?
抛光液是价值量最高的CMP材料,占比约49%,抛光垫占比约33%,两者合计超过八成,是CMP工艺的两大核心耗材。
国内CMP材料企业与国际巨头的差距主要在哪里?
差距主要体现在磨粒核心技术与聚氨酯孔洞结构两方面。磨粒目前仍由海外巨头垄断,国内虽有新安纳等企业具备生产能力,但产品线较少;抛光垫的孔洞规整程度决定抛光效率,相关生产专利长期掌握在海外厂商手中。
国内CMP材料企业的客户结构如何?
国内龙头企业的客户以大陆主流晶圆厂为主,如中芯国际、长江存储、武汉新芯、长鑫存储等,同时已开始向海外头部客户延伸,安集科技已成为台积电供应商,鼎龙股份则计划发力海外市场。