在CMP材料环节,中国呈现“成品突破快、核心原料仍有短板”的格局。从价值量看,抛光液与抛光垫分别占CMP材料成本的49%和33%,是两大核心材料;其中磨粒占抛光液原材料成本的50%-70%,是最核心的组分。目前磨粒核心技术仍被海外巨头垄断,国内新安纳虽有生产能力但产品线较少,安集科技的磨粒主要采购自日本厂商——这意味着中国在CMP抛光液成品端已具备较强竞争力,但在磨粒这一核心原料环节的自主位置仍待突破。

一、成品端:国产抛光液已具备较强竞争力

不同于硅片和光刻胶由日企主导的格局,抛光液和抛光垫的市场份额主要由美企占据,杜邦公司和卡博特微电子占据绝大多数份额,部分细分产品很难在日韩找到替代品。正因如此,国内晶圆厂对CMP材料的国产化诉求很高。

在这一背景下,国内抛光液领域表现较具代表性的是安集科技。该公司自2006年成立起即专注CMP抛光液业务,定位为全产品解决方案(total solution),在七大类抛光液中,产品分别处于量产数年、刚刚上线或正在研发论证的阶段,主力产品已获得大陆晶圆厂高度认可,并成为台积电的供应商。

二、原料端:磨粒是国产化最薄弱的一环

抛光液成分复杂,包括氧化剂、磨粒、络合剂等,需按一定比例配制。生产难点主要有两方面:一是使各组分达到合适浓度,二是控制磨粒的硬度和形状——目前最常用的磨粒是二氧化硅,其壁垒在于让所有磨粒的硬度和形状保持一致,以保障产品的一致性和可靠性。

磨粒的核心技术目前仍被海外巨头垄断,国内新安纳虽有生产能力,但产品线较少。以国内头部抛光液厂商安集科技为例,其磨粒仍主要采购自日本厂商。不过,安集科技一直在寻求原料自主可控,除采购新安纳产品外,还在建设材料基地,专门用于研发生产高端磨粒及电子级添加剂等关键原材料。

三、CMP材料各环节国产化位置对比

环节成本占比全球格局国产化位置
抛光液占CMP材料49%美企主导安集科技产品已出海,成为台积电供应商
抛光垫占CMP材料33%美企主导鼎龙股份实现量产,硬垫覆盖28nm以上全部制程
磨粒占抛光液原材料成本50%-70%核心技术被海外巨头垄断新安纳有产能但产品线较少,安集仍主要采购日本厂商

常见问题

磨粒在抛光液中的成本占比是多少?

磨粒是抛光液最核心的组分,约占抛光液原材料成本的50%-70%。生产难点在于控制磨粒的硬度和形状,让所有磨粒的硬度和形状保持一致,才能保障最终产品的一致性和可靠性。

安集科技的磨粒是否已实现自产?

目前安集科技的磨粒仍主要采购自日本厂商,同时也会采购国内新安纳的产品。公司正在建设材料基地,专门用于研发生产高端磨粒及电子级添加剂等关键原材料,未来原材料逐步自产化后,盈利能力有望进一步提升。

中国在CMP材料环节的国产化处于什么位置?

抛光液和抛光垫两个成品环节国产化进展较快:安集科技已成为台积电供应商,鼎龙股份实现抛光垫量产并在部分晶圆厂达到一供地位。但在磨粒这一核心原料环节,核心技术仍被海外巨头垄断,国内产品线较少,自主化程度相对有限。