CMP抛光液磨粒自主化,国内抛光液厂商能否突破海外垄断壁垒?短期看,核心磨粒技术仍被海外巨头垄断,但国内厂商已在积极布局自主化,突破的关键在于磨粒硬度与形状一致性的控制,长期具备可行性。

磨粒是抛光液最核心的组分,占原材料成本的50%-70%。目前最常用的磨粒是二氧化硅,其生产壁垒在于要让所有磨粒的硬度和形状都保持高度一致,以保障最终产品的一致性和可靠性。当前,磨粒的核心技术仍被海外巨头垄断,国内的新安纳虽具备生产能力,但产品线较少;以国内代表性抛光液厂商安集科技为例,其磨粒仍主要采购自日本厂商。不过,安集科技正建设材料基地,专门用于研发生产高端磨粒及电子级添加剂等关键原材料,推动原材料逐步自产化,这一进程有望提升其盈利能力。

磨粒自主化的技术壁垒在哪里

磨粒自主化的核心难点在于工程化控制,而非单一配方。抛光液由氧化剂、磨粒、络合剂、表面活性剂、缓蚀剂、pH调节剂等多种组分构成,生产难点除了要使各组分达到合适浓度外,更关键的是控制磨粒的硬度和形状。只有所有磨粒在硬度和形状上保持高度一致,才能保障抛光液在晶圆平坦化过程中的稳定表现,避免划伤或抛光不均。这种对微观颗粒一致性的极致要求,是磨粒从“能造”走向“造好”的最大门槛。

国内厂商的突破口:纵向一体化与配方积累

国内厂商的突破路径清晰指向原材料自产化与配方Know-how的双重积累。一方面,以安集科技为代表的抛光液龙头正通过自建材料基地,向高端磨粒等上游关键原材料延伸,降低对日本厂商的采购依赖;另一方面,抛光液定制化程度极高,不同客户需求各异,生产企业必须不断寻找合适配方并稳定制作工艺,这考验的是长期积累的经验,只能靠持续研发尝试来沉淀。此外,国内厂商在抛光液成品端已具备较强竞争力——安集科技的产品不仅获大陆晶圆厂高度认可,还已成为台积电供应商,这为磨粒自主化提供了宝贵的市场验证与迭代基础。

常见问题

磨粒在抛光液成本中占比有多高?

磨粒是抛光液最核心的组分,占原材料成本的50%-70%。以安集科技主要原材料采购金额为例,研磨颗粒的采购金额常年显著高于化工原料、包装材料等其他类别。

国内目前有能生产磨粒的厂商吗?

有,但产品线较少。国内的新安纳具备磨粒生产能力,不过产品线相对有限;国内主流抛光液厂商的磨粒采购仍以日本厂商为主,磨粒核心技术整体仍被海外巨头垄断。

磨粒自主化的关键难点是什么?

关键在于控制磨粒的硬度和形状一致性。最常用的二氧化硅磨粒要求所有颗粒在硬度和形状上保持高度一致,才能保障抛光液产品的一致性和可靠性,这是衡量磨粒生产水平的核心工程指标。

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