CMP抛光液成分体系复杂,涉及氧化剂、磨粒、络合剂、表面活性剂等多种组分的精密配比,技术壁垒极高。综合国内厂商的技术积累、产品覆盖度和客户认证进度来看,安集科技是当前国内CMP抛光液领域技术实力最强的厂商,其自2006年成立起便专注于此,定位“total solution”(全产品解决方案),产品已获得大陆晶圆厂高度认可,并成为台积电供应商。
CMP抛光液的技术壁垒在哪里
CMP(化学机械抛光)是仅次于光刻、刻蚀和薄膜沉积的第四大半导体制造工艺,作用是将晶圆表面平坦化至纳米级平整度。抛光液作为核心材料,价值量占CMP材料成本的49%。
抛光液的成分体系相当复杂,主要包括:
| 组分 | 作用 |
|---|---|
| 氧化剂 | 与表面发生氧化反应形成钝化层 |
| 磨粒 | 机械去除表面多余材料 |
| 络合剂 | 与金属离子形成配合物,促进化学反应 |
| 表面活性剂 | 降低表面张力,改善润湿效果 |
| 缓蚀剂 | 防止过度腐蚀 |
生产难点集中在两方面:一是各组分需达到合适浓度,这考验的是配方Know-how经验,只能靠长期技术积累和反复研发尝试;二是控制磨粒的硬度和形状保持一致,以保障产品的一致性和可靠性。磨粒是抛光液最核心的组分,占原材料成本的比例较高,目前核心技术仍由海外巨头垄断。
安集科技为何领先
安集科技从2006年成立起就致力于CMP抛光液业务,在七大类抛光液产品中,其产品覆盖了量产、上线和在研各阶段,形成了完整的产品梯队。其主力产品不仅获得大陆晶圆厂的高度认可,还成功输出至台湾,成为台积电的供应商,技术积累深厚。
在原材料自主可控方面,安集科技持续布局,除采购国内新安纳的产品外,还在建设材料基地,专门用于研发生产高端磨粒及电子级添加剂等关键原材料。相比之下,其他国内厂商在磨粒自产能力和配方经验积累上仍有明显差距。抛光液定制化程度高,不同客户需求各异,这种成分Know-how的积累对新进入者构成了显著壁垒。
常见问题
CMP抛光液和光刻胶有什么相似之处?
两者都是分布均匀的胶体形态,且分类体系都与下游工艺相匹配——光刻胶与曝光光线匹配,抛光液与晶圆表面材料匹配。成分上都十分复杂,生产难点均涉及各组分的精确配比。
抛光液和抛光垫哪个价值量更高?
抛光液价值量占比约49%,抛光垫约33%,前者是CMP材料中价值量最大的部分。全球抛光液市场由美国企业主导,国内晶圆厂对国产化的诉求很强。
磨粒为什么是抛光液的核心?
磨粒是抛光液最核心的组分,占原材料成本的比例较高。最常用的磨粒是二氧化硅,生产壁垒在于让所有磨粒的硬度和形状都保持高度一致,这直接决定了最终产品的一致性和可靠性。目前磨粒核心技术仍被海外巨头垄断,国内新安纳虽具备生产能力,但产品线较少。