抛光液的高定制化特性,使其配方Know-how成为国产替代的核心壁垒。国内厂商已在中低制程实现突破,但先进节点(如7nm以下)仍依赖海外经验积累。突破方向在于:建立专属配方数据库、提升批次稳定性、并与晶圆厂深度联合开发,逐步积累实测数据以缩小差距。

抛光液的高定制化与Know-how壁垒

抛光液是化学机械抛光(CMP)中的关键材料,价值量占比达49%。其生产难点在于:一方面,磨粒(核心组分,占原材料成本50%-70%)的硬度和形状需高度一致,保障产品稳定性;另一方面,配方需根据不同客户需求高度定制,这考验的是长期积累的Know-how经验,只能靠企业长时间的技术积累和研发尝试来突破。

国内厂商的追赶现状

国内CMP抛光液领域的代表企业是安集科技。公司自2006年起专注抛光液业务,定位为“全产品解决方案”(total solution),产品覆盖七大类抛光液,已获得大陆晶圆厂高度认可,并成为台积电的供应商。在原材料方面,安集科技正推进关键原材料的自产化,包括建设专门用于研发生产高端磨粒的材料基地。

常见问题

国内抛光液厂商在先进制程上进展如何?

官方资料显示,安集科技的产品已覆盖多类抛光液,但在具体先进节点(如7nm以下)的突破情况未给出详细数据。整体而言,国内厂商在成熟制程的国产替代已取得进展,先进制程的追赶仍在持续。

如何突破配方Know-how壁垒?

突破方向包括:通过大量实测数据积累建立专属配方数据库;提升产品批次间的一致性;与晶圆厂进行深度联合开发,在合作中积累定制化经验。这些都需要长期投入和持续研发。

除了安集科技,还有哪些国内厂商值得关注?

官方资料重点介绍了鼎龙股份,该公司已实现抛光垫量产,硬垫产品覆盖28nm以上全部制程,部分产品效率甚至高于海外品牌。其软垫产线投产后,将具备全系列抛光垫生产能力。

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