中国在复合集流体领域的全球竞争中已占据领先地位,核心驱动力在于磁控溅射设备率先完成国产替代,使得中国企业在设备成本、技术迭代和产能规模上具备显著优势。目前,中国不仅在主流两步法(磁控溅射+水电镀)的设备环节实现了自主可控,还涌现出腾胜科技、东威科技等全球龙头,水电镀设备领域甚至由东威科技独家量产,整体产业格局清晰,竞争力突出。
磁控溅射设备:国产替代主导,成本优势显著
磁控溅射设备是复合集流体两步法中的核心环节。历史上,该设备以进口为主,海外企业(如应用材料、爱发科)技术领先,但进口设备造价是国产设备的约3倍,且生产周期长、维护困难。随着复合集流体产业发展,国产设备凭借高性价比逐渐完成替代,目前行业新增产能基本采购国产设备。
国内竞争格局清晰,腾胜科技处于第一梯队,占据了国产磁控溅射设备市场的半壁江山。该公司拥有二十五年真空镀膜技术沉淀,其2.5代机设计产能是行业同类设备的2.5倍,生产良率达90%,产品已出口至日本TDK,客户还包括宝明科技、万顺新材等。国产设备的大规模应用,使中国在设备端获得了全球最低的采购与运维成本,为下游量产提供了坚实基础。
水电镀设备:东威科技全球独家量产
复合铜箔水电镀设备是一种全新设备,与传统的PCB垂直电镀不同,需要针对超薄基材(3-6μm)解决拉伸变形和电镀均匀性等难题。目前,全球唯一能够量产该设备的企业是中国的东威科技。公司凭借无张力同步传输、电流均匀传导等关键技术,实现了90%以上的良率。其双边夹卷式水平镀膜设备已获得批量订单,仅2022年8月和9月公告的订单及框架协议总金额就超过17亿元。东威科技还在积极扩产,预计2023年水电镀设备产能达100-300台,并已推出磁控溅射设备,为客户提供一体化服务。
常见问题
中国在复合集流体设备环节的全球地位如何?
中国在磁控溅射设备环节已基本完成国产替代,新增产能以国产设备为主,成本优势全球领先;在水电镀设备环节,东威科技是全球唯一实现量产复合铜箔水电镀设备的厂商,处于绝对领先地位。
腾胜科技在磁控溅射设备市场有多强?
腾胜科技处于国产磁控溅射设备市场第一梯队,占据了半壁江山。其2.5代机设计产能是行业同类设备的2.5倍,生产良率可达90%,产品已出口至日本TDK。
除了两步法,中国还有其他技术路线布局吗?
是的。例如三孚新科推出的化学沉积一步法,其设备已获得客户订单(如与智动力签订3.2亿元框架协议);道森股份正在布局磁控溅射-蒸镀一体机,预计2023年二季度出样机。这些布局进一步丰富了中国的技术储备。