磁控溅射设备在复合集流体领域的国产替代已基本完成，当前新增产能主要采购国产设备。国内竞争格局中，腾胜科技凭借二十多年技术积累占据国产磁控溅射设备市场半壁江山，处于第一梯队；而水电镀设备领域，东威科技是目前唯一能供应复合铜箔水电镀设备的厂商，并已布局磁控溅射设备提供一体化服务。
磁控溅射设备：国产主导，龙头清晰
复合集流体产业发展初期，磁控溅射设备以进口为主，来自应用材料、爱发科等海外企业，但进口设备造价约为国产设备的3倍，且生产周期长、维护困难。随着产业发展，国产设备逐渐完成进口替代，从近期调研看，行业新增产能基本采购国产磁控溅射设备。
国内磁控溅射镀膜设备厂家主要集中在广东、安徽地区，包括广东腾胜、广东汇成、合肥东昇等。由于设备制造工艺难度大，各厂家技术差距显著。腾胜科技处于国产磁控溅射设备第一梯队，占据了半壁江山。该公司拥有二十五年真空镀膜技术沉淀，从2016年开始布局复合铜箔设备，2017年推出国内首台量产型复合铜箔真空镀膜设备，2021年二代机出口至日本TDK。其主力机型2代机和2.5代机生产良率可达90%，设计产能为行业同类设备的2.5倍。
水电镀设备：东威科技独占，拓展一体化
复合铜箔水电镀设备与传统PCB电镀设备有根本差异，需采用水平电镀工艺，基材更薄、幅宽增加，工艺改进难度大，基本相当于全新设备。目前，能够供应复合铜箔水电镀设备的厂商只有东威科技。
东威科技是国内高端PCB设备龙头，凭借在PCB电镀领域的技术积累，发明了无张力同步传输、电流均匀传导等关键技术，解决了复合铜箔易拉伸变形、电镀不均匀等痛点。公司产品以双边夹卷式水平镀膜设备为主，良率可达90%以上。此外，东威科技已引入新的技术团队开发磁控溅射设备，为客户提供一体化服务，首台磁控溅射设备已出货。
常见问题
国内磁控溅射设备的主要厂商有哪些？
国内主要厂商包括广东腾胜、广东汇成、合肥东昇等。其中腾胜科技处于第一梯队，占据半壁江山，其他厂商起步较晚，与腾胜科技存在一定差距。
东威科技在复合集流体设备领域的地位如何？
东威科技是目前唯一能供应复合铜箔水电镀设备的厂商，同时已布局磁控溅射设备。其双边夹卷式水平镀膜设备良率可达90%以上，已获得批量订单。
其他工艺路线设备的发展情况如何？
其他工艺成熟度不高，仅有少量设备出货。三孚新科的化学镀铜设备已获得订单，道森股份正在布局磁控溅射-蒸镀一体机，预计将推出样机。