在国产替代政策的大力支持下,复合集流体行业正加速完成磁控溅射设备的本土化采购,而行业标准的逐步完善则对设备性能形成了明确的准入门槛。国产设备凭借高性价比和快速响应优势,已成为新增产能的主流选择,但行业标准(如电池安全标准)对设备良率、产能、稳定性等核心指标的要求,直接决定了设备供应商能否进入下游头部客户供应链。

国产替代政策加速设备本土化

国产磁控溅射设备已基本完成进口替代。历史上,该设备以应用材料、爱发科等海外品牌为主,但进口设备造价约为国产设备的3倍,且生产周期长、维护难度高。随着国内政策鼓励高端装备国产化,行业新增产能目前已基本转向采购国产设备。以腾胜科技为代表的国产龙头,凭借二十余年技术积累和更低的成本,迅速占据市场主导地位——腾胜科技在国产磁控溅射设备市场占据半壁江山,其2.5代机设计产能达行业同类设备的2.5倍,生产良率可达90%。

行业标准形成性能准入门槛

复合集流体下游应用(如动力电池)对安全性和一致性要求极高,行业标准对设备性能的约束主要体现在三个方面:

  • 良率要求:设备良率直接影响生产成本与产品一致性。腾胜科技2代机与2.5代机良率均可达90%,东威科技的双边夹卷式水平镀膜设备良率同样可达90%以上。
  • 产能与效率:设备需满足大规模扩产需求。腾胜科技2.5代机单机年产能为1100万方,运行速度达20m/min;东威科技预计2023年水电镀设备产能可达100-300台。
  • 技术稳定性:设备需解决超薄基材(3-6μm)在传输和镀膜过程中的变形、褶皱等问题。东威科技自主研发的无张力同步传输技术和电流均匀传导技术,正是为满足此类标准而设计。

常见问题

国产磁控溅射设备的主要供应商有哪些?

国内磁控溅射设备厂商主要集中在广东、安徽地区,代表企业包括广东腾胜科技、广东汇成、合肥东昇等。其中腾胜科技处于第一梯队,占据国产市场半壁江山。

复合集流体行业对水电镀设备有哪些特殊要求?

复合集流体使用的水电镀设备与传统PCB电镀设备不同,需采用水平电镀工艺,且基材更薄、幅宽更宽。目前只有东威科技能够量产复合铜箔水电镀设备,其双边夹卷式设备良率可达90%以上。

政策支持对复合集流体设备采购决策有何影响?

在国产替代政策鼓励和补贴支持下,下游企业采购决策已从早期依赖进口设备转向优先选择国产设备。国产设备不仅价格仅为进口的三分之一左右,且交付周期更短、售后响应更快,成为新增产能的主要选择。

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