在复合集流体磁控溅射设备领域，国产第一梯队以腾胜科技为代表，并占据国产磁控溅射设备市场的半壁江山；广东汇成、合肥东昇等厂商同处主要参与者行列，但起步相对较晚，技术积累仍在磨练。腾胜科技之所以能形成这一卡位，核心在于二十余年的真空镀膜技术沉淀、较早的复合铜箔设备布局，以及作为广东省真空卷绕镀膜设备行业标准牵头制定者之一所体现的行业话语权。
第一梯队与追赶者的差距从何而来
国内磁控溅射镀膜设备厂家主要集中在广东、安徽地区，包括广东腾胜、广东汇成、合肥东昇等。受制于设备制造工艺难度，各厂家之间的技术差距较为明显。
腾胜科技在磁控溅射领域钻研了二十多年，技术沉淀深厚；其专家为广东省真空卷绕镀膜设备行业标准牵头制定者之一。这使其处于国产磁控溅射设备市场的第一梯队。其他厂商起步较晚，与腾胜科技存在一定差距，技术上还需要磨练。
腾胜科技的卡位逻辑
腾胜科技拥有二十五年的真空镀膜技术与设备沉淀，主要提供大型磁控溅射设备。公司自2016年开始布局复合铜箔设备，2017年推出国内首台量产型复合铜箔真空镀膜设备，2021年推出的二代机出口至日本TDK。
目前主力机型为2代机和2.5代机，性能优势较为明显：生产良率可达90%，设计产能为行业同类设备的2.5倍。产品已实现批量出货，客户包括日本TDK、宝明科技、万顺新材等。公司正加紧扩张产能，以应对下游复合铜箔扩产带来的设备需求。
| 参数 | 2代机 | 2.5代机 |
|---|---|---|
| 膜厚（nm） | 30 | 30 |
| 电阻（Ω） | 2.5 | 2.5 |
| 速度（m/min） | 13 | 20 |
| 单机年产能（万方） | 560 | 1100 |
数据来源：深圳电池行业协会、公司官网、东吴证券研究所
常见问题
复合集流体磁控溅射设备国产第一梯队都有谁？
国产磁控溅射镀膜设备厂家主要集中在广东、安徽地区，包括广东腾胜（腾胜科技）、广东汇成、合肥东昇等。其中腾胜科技处于国产磁控溅射设备市场的第一梯队，占据半壁江山；其他厂商起步较晚，与腾胜科技有一定差距，技术仍需磨练。
腾胜科技为何能占据近半市场？
腾胜科技在磁控溅射领域钻研二十多年，技术沉淀深厚，其专家是广东省真空卷绕镀膜设备行业标准牵头制定者之一；公司自2016年起布局复合铜箔设备，主力机型良率可达90%，设计产能为行业同类设备的2.5倍，产品已批量出货至日本TDK、宝明科技、万顺新材等客户。
磁控溅射设备的进口替代进展如何？
复合集流体产业发展初期，磁控溅射设备以进口为主，来源包括应用材料、爱发科等公司，进口设备造价普遍是国产设备的3倍左右，生产周期长、后续维护较难。随着国产设备切入，目前已基本完成进口替代，行业内新增产能基本都会采购国产磁控溅射设备。