复合集流体磁控溅射设备的竞争格局,正从海外厂商主导转向国产替代。复合集流体产业发展初期,磁控溅射设备以进口为主,来源包括应用材料、爱发科等公司;海外企业技术水平领先,设备调试好之后运行比较稳定。 但进口设备造价普遍是国产设备的3倍左右,生产周期长,后续维护也比较难。随着产业发展,国产设备逐渐切入并完成进口替代,从调研情况看,行业内新增产能基本都会采购国产磁控溅射设备。

海外厂商:早期主导,稳定性是优势

磁控溅射工艺此前已在光学工业、电子工业中广泛应用,拓展到复合铜箔领域时工艺变动不大,其他领域的设备稍加改动即可使用。海外企业凭借技术积累,设备调试后运行较为稳定,因此在产业初期占据主导地位,应用材料、爱发科是其中的代表性来源。

制约在于成本与周期:进口设备造价普遍是国产设备的3倍左右,生产周期长,后续维护难度也较高。这为国产设备留出了替代空间。

国产格局:腾胜科技居第一梯队

国内磁控溅射镀膜设备厂家主要集中在广东、安徽地区,包括广东腾胜、广东汇成、合肥东昇等。受制于设备制造工艺难度,各厂家之间技术差距很大。

腾胜科技在磁控溅射领域钻研二十多年,技术沉淀深厚,其专家是广东省真空卷绕镀膜设备行业标准的牵头制定者之一,处于国产磁控溅射设备市场第一梯队,占据半壁江山。其他厂商起步较晚,与腾胜科技存在一定差距,技术上还需磨练。

腾胜科技拥有二十五年真空镀膜技术与设备沉淀,主要提供大型磁控溅射设备:2016年开始布局复合铜箔设备,2017年推出国内首台量产型复合铜箔真空镀膜设备,2021年推出的二代机出口至日本TDK。目前主力机型为2代机和2.5代机,生产良率可达90%,设计产能为行业同类设备的2.5倍。

参数2代机2.5代机
膜厚(nm)3030
电阻(Ω)2.52.5
速度(m/min)1320
单机年产能(万方)5601100

数据来源:深圳电池行业协会、公司官网、东吴证券研究所

产品已实现批量出货,客户包括日本TDK、宝明科技、万顺新材等。此外,东威科技也已引入新技术团队开发磁控溅射设备,为客户提供一体化服务。

常见问题

复合集流体磁控溅射设备目前是进口还是国产为主?

产业初期以进口为主,来源包括应用材料、爱发科等,海外设备调试好后运行较稳定。随着国产设备凭借性价比切入,已逐渐完成进口替代,目前行业内新增产能基本都会采购国产磁控溅射设备。

国产磁控溅射设备厂商中,哪家处于领先位置?

腾胜科技处于国产磁控溅射设备市场第一梯队,占据半壁江山。公司在磁控溅射领域钻研二十多年,主力机型生产良率可达90%,设计产能为行业同类设备的2.5倍;其他厂商起步较晚,技术上还需要磨练。

进口设备与国产设备的主要差异是什么?

进口设备造价普遍是国产设备的3倍左右,生产周期长,后续维护比较难;海外设备调试好后运行较稳定。国产设备则以更低的造价和更短的周期切入,逐步完成替代。