在复合集流体磁控溅射设备的采购选择上,政策与监管的影响主要通过两条路径传导:一是高端装备国产化的政策导向,二是下游对供应链自主可控的诉求。进口磁控溅射设备造价普遍是国产设备的3倍左右,生产周期长、后续维护较难;而国产设备性价比已获市场验证,行业内新增产能基本都会采购国产磁控溅射设备,采购重心由此从进口转向国产。

政策导向如何影响采购决策

磁控溅射工艺此前已在光学工业和电子工业中广泛应用,拓展到复合铜箔领域工艺变动不大,其他领域的设备稍加改动即可使用。产业初期,海外企业技术水平领先、设备调试后运行较稳定,磁控溅射设备以进口为主。

但进口设备造价普遍是国产设备的3倍左右,生产周期也长,后续维护比较难。在高端装备国产化的政策导向下,叠加下游对供应链自主可控的要求,国产设备逐渐切入并完成进口替代。从调研情况看,行业内新增产能基本都会采购国产磁控溅射设备。

国产供应格局与采购考量

国内磁控溅射镀膜设备厂家主要集中在广东、安徽地区,包括广东腾胜、广东汇成、合肥东昇等,但受制于设备制造工艺难度,各厂家之间技术差距很大。

腾胜科技在磁控溅射领域钻研二十多年,技术沉淀深厚,其专家是广东省真空卷绕镀膜设备行业标准的牵头制定者之一,处于国产磁控溅射设备市场的第一梯队,占据了半壁江山;其他厂商起步较晚,技术上还需要磨练。

对比维度2代机2.5代机
膜厚(nm)3030
电阻(Ω)2.52.5
速度(m/min)1320
单机年产能(万方)5601100

腾胜科技从2016年开始布局复合铜箔设备,2017年推出国内首台量产型复合铜箔真空镀膜设备,2021年推出的二代机出口到日本的TDK。目前主力机型为2代机和2.5代机,生产良率可达90%,设计产能为行业同类设备的2.5倍,产品已实现批量出货,客户包括日本TDK、宝明科技、万顺新材等。

此外,东威科技也引入了新的技术团队开发磁控溅射设备,为客户提供一体化服务,其首台磁控溅射设备已经出货。

常见问题

国产磁控溅射设备相比进口设备的主要优势是什么?

进口设备造价普遍是国产设备的3倍左右,且生产周期长、后续维护比较难。国产设备在性价比上优势明显,同时供货与维护响应更贴近国内下游客户,这也是新增产能基本采购国产设备的重要原因。

政策与监管因素在采购中具体体现在哪些方面?

主要体现在高端装备国产化的政策引导,以及下游客户对供应链自主可控的要求。在这两方面因素共同作用下,国产磁控溅射设备逐渐切入并完成了进口替代,采购倾向明显向国产倾斜。

目前国产磁控溅射设备的供应格局如何?

国内厂家主要集中在广东、安徽地区,包括广东腾胜、广东汇成、合肥东昇等,各厂家技术差距较大。腾胜科技处于第一梯队,占据半壁江山;东威科技也已布局磁控溅射设备,为客户提供一体化服务。