全球真空镀膜设备格局中，复合集流体用磁控溅射设备的中国位置如何？

在全球复合集流体用磁控溅射设备的格局中，中国厂商已完成从进口依赖到国产替代的关键转折，新增产能基本转向国产设备；其中腾胜科技处于国产第一梯队，占据国内磁控溅射设备市场的半壁江山。 海外厂商起步更早、设备运行稳定性占优，但造价约为国产设备的3倍、生产周期长、后续维护较难，这为国产设备切入并完成替代留出了空间。

全球格局：海外先发，国产接棒

磁控溅射工艺此前已在光学工业、电子工业中广泛应用，拓展到复合铜箔领域时工艺变动不大，其他领域的磁控溅射设备稍加改动即可使用。正因如此，海外企业凭借更早的技术积累，在复合集流体产业发展初期主导了设备供应，来源包括应用材料、爱发科等公司，其设备调试后运行较为稳定。

制约进口设备普及的核心因素是成本与周期：造价普遍昂贵，约为国产设备的3倍，生产周期也长，且后续维护难度较大。随着复合集流体产业发展，国产设备逐步切入，从近期调研情况看，行业内新增产能基本都会采购国产磁控溅射设备。

中国位置：第一梯队与半壁江山

国内磁控溅射镀膜设备厂家主要集中在广东、安徽地区，包括广东腾胜、广东汇成、合肥东昇等。受制于设备制造工艺难度，各厂家之间技术差距很大：腾胜科技在磁控溅射领域钻研二十余年，技术沉淀深厚，是广东省真空卷绕镀膜设备行业标准的牵头制定者之一，处于国产第一梯队并占据近半市场份额；其他厂商起步较晚，与之仍有一定差距。

从产品进展看，腾胜科技自2016年起布局复合铜箔设备，2017年推出国内首台量产型复合铜箔真空镀膜设备，2021年推出的二代机出口至日本的TDK。目前主力机型为2代机和2.5代机，生产良率可达90%，设计产能为行业同类设备的2.5倍。

产品已实现批量出货，客户包括日本TDK、宝明科技、万顺新材等。公司判断，随着下游复合铜箔大规模扩产，设备需求将激增，正加紧扩张产能。

常见问题

复合集流体用磁控溅射设备，国产与海外的主要差距在哪里？

海外厂商起步更早，设备调试后运行稳定性较好，是产业初期的首选；国产设备的优势在于性价比与交付维护。资料显示进口设备造价约为国产设备的3倍，生产周期长、维护较难，因此新增产能已基本转向国产设备。

腾胜科技在国产磁控溅射设备中处于什么位置？

腾胜科技拥有二十余年真空镀膜技术与设备沉淀，是广东省真空卷绕镀膜设备行业标准的牵头制定者之一，处于国产第一梯队，占据国内磁控溅射设备市场半壁江山，主力机型为2代机和2.5代机。

除了磁控溅射设备，复合集流体产业链还有哪些关键设备环节？

磁控溅射与水电镀组成的两步法是当前主流技术路线。水电镀设备方面，东威科技可供应复合铜箔水电镀设备并提供一体化服务；其他路线中，三孚新科布局化学镀铜设备，道森股份布局磁控溅射-蒸镀一体机。