复合集流体磁控溅射设备已实现国产主导，自主可控还差哪些环节？

复合集流体磁控溅射设备的整机环节已基本完成国产替代，行业新增产能基本都会采购国产磁控溅射设备，其中腾胜科技处于国产第一梯队、占据半壁江山；但自主可控的短板集中在上游关键零部件——真空泵、靶材、电源、控制部件等环节，目前公开资料尚未披露这些环节的国产化率数据，整机领先与上游受制并存，是当前这条产业链最真实的写照。

整机：国产替代已基本完成

磁控溅射工艺此前已在光学工业、电子工业中广泛应用，拓展到复合铜箔领域工艺变动不大，其他领域的设备稍加改动即可使用。产业发展初期，磁控溅射设备以进口为主，来源包括应用材料、爱发科等公司，但进口设备造价普遍非常昂贵，是国产设备的3倍左右，生产周期长、后续维护也比较难。

随着产业发展，国产设备逐渐切入并完成进口替代。从调研情况看，行业内新增产能基本都会采购国产磁控溅射设备。国内厂家主要集中在广东、安徽地区，包括广东腾胜、广东汇成、合肥东昇等，但受制于设备制造工艺难度，各厂家之间技术差距很大。

龙头：腾胜科技的技术沉淀

腾胜科技拥有二十五年的真空镀膜技术与设备沉淀，主要提供大型磁控溅射设备，其专家是广东省真空卷绕镀膜设备行业标准的牵头制定者之一，公司处于国产磁控溅射设备市场第一梯队，占据半壁江山。其他厂商起步较晚，技术上还需要磨练。

从产品迭代看，腾胜科技自2016年起布局复合铜箔设备，2017年推出国内首台量产型复合铜箔真空镀膜设备，2021年推出的二代机出口到日本的TDK。目前主力机型为2代机和2.5代机，官方表述其生产良率可达90%，设计产能是行业同类设备的2.5倍。

产品已实现批量出货，客户包括日本TDK、宝明科技、万顺新材等。此外，东威科技也引入了新的技术团队开发磁控溅射设备，为客户提供一体化服务。

自主可控的真正短板在哪

整机国产化并不等于产业链自主可控。磁控溅射设备由真空腔体、真空泵、靶材、电源与控制部件等共同构成，目前国产厂商的突破集中在整机集成与工艺调试环节，而真空泵、靶材、电源、控制部件等上游关键零部件的国产化程度，公开资料尚未给出明确数据。这意味着设备整机虽已实现国产主导，但上游环节仍可能存在进口依赖，是自主可控命题中需要持续验证的部分。

常见问题

复合集流体磁控溅射设备国产化到什么程度了？

从整机看，国产替代已基本完成，行业内新增产能基本都会采购国产磁控溅射设备。腾胜科技处于国产第一梯队并占据半壁江山，其他厂商起步较晚、技术仍需磨练。但上游真空泵、靶材、电源、控制部件等环节的国产化情况，尚需以官方及第三方公开数据为准。

腾胜科技在复合集流体设备领域的地位如何？

腾胜科技拥有二十五年真空镀膜技术与设备沉淀，是广东省真空卷绕镀膜设备行业标准的牵头制定者之一，处于国产磁控溅射设备市场第一梯队。其2017年推出国内首台量产型复合铜箔真空镀膜设备，2021年二代机出口到日本TDK，目前主力机型为2代机和2.5代机。

为什么说整机国产化不等于自主可控？

磁控溅射设备是整机集成产品，其性能与稳定性依赖真空泵、靶材、电源、控制部件等上游环节的配套能力。整机实现国产主导，只说明集成与工艺环节具备竞争力，上游关键零部件是否自主，仍需以官方披露和第三方实测数据为判断依据。