复合集流体水平镀膜设备良率超90%的核心技术壁垒,主要在于解决超薄基材(3-6μm)在水平传输中的无张力同步传输与电流均匀传导两大难题,以及通过双边夹输送设计避免膜面起皱或断膜,从而将良率稳定在90%以上。
技术难点与东威科技的突破
复合集流体水电镀设备并非传统PCB电镀设备的简单迁移。基材厚度极薄(3-6μm)、幅宽增加,在水平传输过程中极易出现拉伸变形、褶皱或电镀不均匀。东威科技针对这些痛点,自主研发了无张力同步传输技术,使每个传动轮保持相同动力,确保传输速度一致,避免薄膜因张力而形变;同时采用电流均匀传导技术,通过弧形导电涂轮设计使薄膜在电镀过程中与导电涂轮充分贴合,保证电镀均匀性。
双边夹卷式水平镀膜——良率突破的关键
东威科技的双边夹卷式水平镀膜设备,采用非接触基膜的方式,通过夹具实现基膜移动,从而显著降低损伤风险。该设备在设计中还集成了双边夹输送设备专利,通过两个独立驱动机构配合速度监控装置,确保两列钢带转速同步,有效避免膜面斜纹起皱或断膜。正是这些针对超薄超宽膜传输、电镀的系列专利技术,使该设备良率可以达到90%以上。
常见问题
东威科技的双边夹卷式水平镀膜设备与滚筒卷式设备有何区别?
滚筒卷式设备采用接触式基膜传输,而双边夹式设备通过夹具夹持基膜边缘移动,实现非接触传输。后者能更好避免超薄基材在传输过程中的拉伸变形和损伤,因此良率更高,是目前唯一实现90%以上良率的水平镀膜设备。
复合集流体一步法与两步法相比,设备壁垒在哪?
一步法(如三孚新科的化学沉积)工艺成熟度相对较低,目前只有少量设备出货,其良率参数(95%)和成本(量产后3元/平米)已公布,但大规模量产稳定性尚需验证。两步法(磁控溅射+水电镀)是当前主流路线,设备壁垒集中在磁控溅射的均匀性控制和水平水电镀的无张力传输与电流均匀传导。
磁控溅射设备环节的技术壁垒体现在哪里?
磁控溅射设备的主要壁垒在于设备的运行稳定性和镀膜均匀性。国产设备(如腾胜科技)已实现进口替代,其2.5代机生产良率可达90%,设计产能是行业同类设备的2.5倍,技术积累(二十余年)和客户验证(日本TDK等)构成了核心竞争壁垒。