在复合集流体全球工艺竞赛中,化学沉积法五步工序代表的全湿法一步法路线,正让中国厂商站在全球前沿探索的身位。以三孚新科、智动力为代表的中国企业,是这一新兴工艺方向的主要推动者,与海外多聚焦磁控溅射+水电镀两步法的格局形成差异化,体现了中国在复合集流体工艺多元化上的先发布局。
全球技术路线对比:中国为何押注化学沉积法
复合集流体的表面镀膜工艺,目前业内主要有干法镀膜和湿法镀膜两大类。从生产工序看,又分为一步法、两步法和三步法。目前大多数公司选择的是两步法路线(磁控溅射+水电镀),代表厂商有宝明科技、双星新材等;重庆金美和万顺新材则尝试形成磁控溅射+真空蒸镀+水电镀的三步法路线。
而一步法分为两个方向:三孚新科、智动力代表的全湿法(化学沉积),以及道森股份代表的全干法(磁控溅射)。其中,化学沉积法以自身催化性氧化还原反应,使铜离子被还原并沉积在高分子材料表面,具体包括除油、粗化、敏化、活化、化学沉铜五道工序。这一路线在全球范围内属于领先探索的工艺方向。
化学沉积法的优势与挑战
化学沉积法之所以受到市场关注,核心在于其工艺特性。该方法可以解决电化学沉积的边缘效应,从而提升镀铜层均匀性,并做出更大的幅宽。同时因为工序简单、工艺成熟,良率表现突出——三孚新科的目标良率已达到95%。
不过,这一路线也存在需要攻克的难点:金属在基膜表面的附着力相对不强烈,存在脱铜风险;污水处理等成本也比较高。未来需要通过配方调整、设备工艺改进等方式持续改善。也正因如此,目前下游客户对一步法、两步法、三步法仍持开放态度,各种工艺都在测试阶段,任何一种方法都有可能成为未来的发展趋势。
常见问题
化学沉积法与两步法相比,核心差异是什么?
两步法(磁控溅射+水电镀)是当前成熟度最高的主流路线,先用磁控溅射打底提供结合力,再由水电镀提升效率。而化学沉积法一步到位,工序更简单,能解决边缘效应、提升良率,但附着力相对弱于磁控溅射,且催化剂成本较高。
中国在化学沉积法上的布局处于什么水平?
以三孚新科、智动力为代表的中国厂商,是全球范围内全湿法一步法路线的主要探索者。相比海外多聚焦两步法和干法路线,中国在化学沉积法的产业化验证和良率提升上投入显著,处于这一细分工艺方向的先发身位。
化学沉积法的良率能做到多高?
官方资料显示,代表厂商三孚新科的目标良率达到95%,这得益于化学沉积法工序简单、工艺成熟的特性。不过实际量产良率还需结合设备改进与配方调整持续验证。