复合集流体设备领域,磁控溅射设备已完成国产替代,国内厂商技术差距显著,竞争格局呈现“一超多强”态势——腾胜科技占据国产磁控溅射设备市场的半壁江山;而水电镀设备则呈现东威科技独占市场的格局。未来竞争格局的演变,将主要取决于各厂商的技术迭代速度与产能扩张节奏。

磁控溅射设备:国产替代完成,腾胜科技领跑

复合集流体产业初期,磁控溅射设备以海外进口为主,但进口设备造价约为国产设备的3倍,且生产周期长、维护难度大。随着产业发展,国产设备凭借高性价比逐渐切入并完成了进口替代,目前行业新增产能基本采购国产设备。

国内磁控溅射设备厂商主要集中在广东、安徽地区,包括广东腾胜、广东汇成、合肥东昇等。受制于设备制造工艺难度,各厂商之间技术差距很大。腾胜科技凭借二十余年的真空镀膜技术沉淀,处于国产磁控溅射设备市场第一梯队,占据半壁江山,其他厂商起步较晚,与腾胜科技仍有差距。

腾胜科技:技术沉淀与产能扩张并进

腾胜科技拥有二十五年真空镀膜技术与设备沉淀,自2016年起布局复合铜箔设备,2017年推出国内首台量产型复合铜箔真空镀膜设备,2021年推出的二代机出口至日本TDK。目前主力机型为2代机和2.5代机,生产良率可达90%,设计产能为行业同类设备的2.5倍。

参数2代机2.5代机
速度 (m/min)1320
单机年产能 (万方)5601100

公司预计,随着下游复合铜箔大规模扩产,设备需求将激增,磁控溅射设备可能出现供给紧张,因此正加紧产能扩张。新厂区一期工厂完工后产能将增加一倍至每年35台左右,后续还将进一步扩张至每年60台。当前设备采购订单以1-2台为主,未来可能出现单次订购10-20台设备的情况。

水电镀设备:东威科技独占市场

复合铜箔水电镀设备与传统PCB电镀设备存在根本差异——传统工艺为垂直电镀,而复合铜箔采用水平电镀,基材更薄、幅宽更大,工艺改进难度高,相当于一种全新设备。目前能够供应复合铜箔水电镀设备的厂商仅东威科技一家

东威科技凭借PCB电镀领域的技术积累,发明了无张力同步传输、电流均匀传导等关键技术,解决了复合铜箔易拉伸变形、电镀不均匀等痛点。其双边夹卷式水平电镀设备良率可达90%以上,已获得批量订单。此外,东威科技还引入了新团队开发磁控溅射设备,为客户提供一体化服务,首台磁控溅射设备已出货。

常见问题

复合集流体设备的主要技术路线是什么?

目前主流技术路线为“磁控溅射+水电镀”两步法,该路线已较为成熟。其他工艺如化学沉积一步法、磁控溅射-蒸镀一体机等成熟度尚不高,目前只有少量设备出货。

磁控溅射设备与水电镀设备的竞争格局有何不同?

磁控溅射设备已完成国产替代,腾胜科技占据半壁江山,处于第一梯队;水电镀设备因属于全新设备、技术难度高,目前仅东威科技能够量产供应,同时东威也在布局磁控溅射设备以提供一体化服务。

未来设备龙头可能如何诞生?

从现有格局看,腾胜科技在磁控溅射领域技术沉淀深厚且产能持续扩张,东威科技在水电镀领域独占市场并积极拓展磁控溅射设备。未来龙头地位将取决于各厂商技术迭代速度、产能释放能力及一体化服务能力,需以后续实际出货与订单数据持续验证。