复合集流体设备厂商集中在中东部，磁控溅射设备（如腾胜科技等）集中在广东、安徽，水电镀设备目前主要由东威科技供应；在全球竞争中，国产设备已完成磁控溅射领域的进口替代，而水电镀设备由于是全新设备，中国企业目前具备较强的先发优势。

国产设备的地理集中与格局

磁控溅射设备（即磁控卷绕真空镀膜机）的国内厂商主要集中在广东、安徽地区，包括广东腾胜、广东汇成、合肥东昇等。由于设备制造工艺难度较高，各厂家之间的技术差距较大。

其中，腾胜科技处于国产磁控溅射设备市场第一梯队，占据半壁江山。该公司在磁控溅射领域钻研二十多年，其专家是广东省真空卷绕镀膜设备行业标准的牵头制定者之一。腾胜科技从2016年开始布局复合铜箔设备，2017年推出国内首台量产型复合铜箔真空镀膜设备，2021年推出的二代机已出口至日本TDK，产品已实现批量出货，客户包括日本TDK、宝明科技、万顺新材等。

水电镀设备方面，复合铜箔用的水平电镀设备与传统PCB电镀设备差异很大，基本上属于全新设备。目前能够供应复合铜箔水电镀设备的厂商只有东威科技，其发明了无张力同步传输、电流均匀传导等关键技术，解决了复合铜箔易拉伸变形、电镀不均匀等痛点，双边夹式设备良率可达90%以上。

全球竞争中的位置与追赶逻辑

在磁控溅射设备领域，海外企业（如应用材料、爱发科等）技术水平领先，设备运行稳定，在复合集流体产业发展初期以进口为主。但进口设备造价普遍是国产设备的3倍左右，生产周期长且维护困难。随着产业发展，国产设备凭借性价比优势逐渐完成进口替代，目前行业新增产能基本采购国产磁控溅射设备。

在复合铜箔水电镀设备领域，由于从PCB电镀迁移过来需要针对更薄基材、更大幅宽做根本性工艺改进，海外也没有现成产品可直接套用，中国企业在这一全新设备品类上具备先发优势。东威科技凭借PCB电镀领域的技术积累顺利切入，产品已获得批量订单，并同步开发磁控溅射设备，为客户提供一体化服务。

此外，其他工艺路线设备也在推进中：三孚新科的化学镀铜设备已获得客户订单；道森股份正在布局磁控溅射-蒸镀一体机，计划在次年二季度推出样机。

常见问题

国产磁控溅射设备与国际领先水平的差距在哪里？

海外企业在磁控溅射领域起步早，设备调试后运行稳定，这是其传统优势。但国产设备已通过性价比完成进口替代，当前行业新增产能基本采购国产设备，说明在复合集流体应用场景下，国产设备已能满足量产需求。

为什么复合铜箔水电镀设备被视为全新设备？

传统水电镀一般是垂直电镀，而复合铜箔用的水电镀设备要求水平电镀，且基材更薄、幅宽更大，需要解决薄膜拉伸变形、电镀不均匀等新难题，工艺改进难度大，因此基本上相当于一种全新设备。

除两步法设备外，还有哪些设备路线值得关注？

三孚新科推出的化学沉积一步法设备已获得客户认可并签订采购协议；道森股份正在布局磁控溅射-蒸镀一体机，样机计划于次年二季度推出。这些路线目前成熟度尚不高，出货量较少。