复合集流体磁控溅射设备的历史格局中,海外企业曾凭借技术积累占据主导,应用材料、爱发科等是早期主要进口来源。随着产业发展,国产设备已基本完成进口替代,行业内新增产能基本都会采购国产磁控溅射设备。其中,腾胜科技处于国产磁控溅射设备市场第一梯队,占据半壁江山,其二代机已出口至日本TDK,客户还包括宝明科技、万顺新材等,显示中国厂商的位置正从替代者向海外交付者上移。同时,海外设备在运行稳定性与调试经验上仍有较深积累,这一差距仍需客观看待。

从进口主导到国产替代

磁控溅射工艺此前已在光学工业和电子工业中广泛应用,拓展至复合铜箔领域时工艺变动不大,其他领域的设备稍加改动即可使用。海外企业技术水平领先,设备调试好后运行比较稳定,因此产业发展初期以进口为主。但进口设备造价普遍非常昂贵,是国产设备的3倍左右,生产周期也长,后续维护比较难。随着复合集流体产业发展,国产设备逐渐切入并完成进口替代。

国产竞争格局与腾胜科技的位置

国内磁控溅射镀膜设备厂家主要集中在广东、安徽地区,包括广东腾胜、广东汇成、合肥东昇等。受制于设备制造工艺难度,各厂家之间技术差距很大。腾胜科技在磁控溅射领域钻研了二十多年,技术沉淀深厚,其专家是广东省真空卷绕镀膜设备行业标准牵头制定者之一,处于国产市场第一梯队。公司主力机型为2代机和2.5代机,产品已实现批量出货,客户包括日本TDK、宝明科技、万顺新材等。

参数2代机2.5代机
膜厚(nm)3030
电阻(Ω)2.52.5
速度(m/min)1320
单机年产能(万方)5601100

常见问题

中国磁控溅射设备厂商目前处于什么位置?

国产设备已基本完成进口替代,行业内新增产能基本都会采购国产磁控溅射设备。腾胜科技处于国产市场第一梯队,占据半壁江山,其二代机已出口至日本TDK,客户还包括宝明科技、万顺新材等。

海外品牌在磁控溅射设备上还有优势吗?

海外企业技术水平领先,设备调试好后运行比较稳定,在运行稳定性和调试经验上仍有较深积累。这是国产设备在海外交付过程中需要持续打磨的环节。

腾胜科技的主力机型性能如何?

主力机型为2代机和2.5代机,2.5代机速度提升至20m/min,单机年产能达1100万方。产品已实现批量出货,客户包括日本TDK、宝明科技、万顺新材等。