磁控溅射工艺此前已在光学工业与电子工业中广泛应用,拓展到复合集流体领域时工艺变动不大,其他领域的磁控溅射设备稍加改动即可直接使用。产业发展初期,磁控溅射设备以进口为主,来源包括应用材料、爱发科等公司,但进口设备造价普遍是国产设备的3倍左右,生产周期长、后续维护较难。国产厂商正是凭借高性价比切入:在设备性能可满足量产需求的前提下,采购成本与交付、维护条件更具优势。从调研情况看,当前行业内新增产能基本都会采购国产磁控溅射设备,进口替代已基本完成。
国产厂商靠什么切入
磁控溅射设备的核心形态是磁控卷绕真空镀膜机。由于该工艺在光学、电子工业中已有长期积累,向复合铜箔迁移的技术门槛相对可控,这为国产厂商提供了切入窗口。
真正拉开差距的是成本与工程服务:进口设备造价约为国产的3倍,且生产周期长、维护难度大;国产设备在采购成本、交付节奏和后续维护上更贴近下游扩产需求,因而逐步被新增产能采纳。
竞争格局与代表厂商
国内磁控溅射镀膜设备厂家主要集中在广东、安徽地区,包括广东腾胜、广东汇成、合肥东昇等。受设备制造工艺难度影响,各厂家之间技术差距较大。
腾胜科技在该领域钻研二十余年,技术沉淀深厚,其专家是广东省真空卷绕镀膜设备行业标准牵头制定者之一,处于国产磁控溅射设备市场的第一梯队,占据半壁江山;其他厂商起步较晚,技术上仍需磨练。腾胜科技拥有二十五年真空镀膜技术与设备沉淀,主要提供大型磁控溅射设备,主力机型为2代机和2.5代机。
| 参数 | 2代机 | 2.5代机 |
|---|---|---|
| 膜厚(nm) | 30 | 30 |
| 电阻(Ω) | 2.5 | 2.5 |
| 速度(m/min) | 13 | 20 |
| 单机年产能(万方) | 560 | 1100 |
数据来源:深圳电池行业协会、公司官网、东吴证券研究所
常见问题
为什么进口磁控溅射设备会被国产替代?
磁控溅射工艺在光学和电子工业已有成熟应用,转向复合集流体时工艺变动不大,进口设备稍加改动即可使用,海外企业在技术水平与运行稳定性上曾有优势。但进口设备造价约为国产的3倍,生产周期长、维护较难,国产设备凭借性价比逐步切入,目前新增产能基本采购国产设备。
国产磁控溅射设备目前的市场格局如何?
国内厂家主要集中在广东、安徽地区,受设备制造工艺难度制约,各厂家技术差距很大。腾胜科技处于第一梯队,占据半壁江山,其他厂商起步较晚,与其存在一定差距,技术上还需要磨练。
腾胜科技的设备产能和客户情况怎样?
腾胜科技主力机型为2代机和2.5代机,2.5代机单机年产能为1100万方。产品已实现批量出货,客户包括日本TDK、宝明科技、万顺新材等;其新厂区一期工厂完工后产能增加一倍,后续还将进一步扩张。