磁控溅射工艺此前已在光学工业与电子工业中广泛应用,拓展至复合集流体(复合铜箔)领域时工艺变动不大,其他领域的磁控溅射设备稍加改动即可使用,这客观上降低了跨领域厂商的切入门槛,潜在竞争者因此增多;但就当前国内磁控溅射设备环节而言,格局仍然清晰——腾胜科技处于国产磁控溅射设备市场的第一梯队,占据半壁江山,其他厂商起步较晚,与第一梯队存在一定技术差距。因此,跨领域工艺复用更多是"引入更多参与者",而非立即改写头部排序。
跨领域复用的门槛为何偏低
磁控溅射设备的核心形态是磁控卷绕真空镀膜机。历史上该工艺在光学、电子工业中已有长期积累,转向复合铜箔时工艺变动不大,其他领域的设备稍加改动之后就可以直接使用。这意味着具备磁控溅射工艺积累的厂商,无需从零重建技术体系即可尝试切入。
产业初期,复合集流体磁控溅射设备以进口为主,来源包括应用材料、爱发科等公司;进口设备造价普遍非常昂贵,是国产设备的3倍左右,生产周期也长,后续维护比较难。随着产业发展,国产设备逐渐切入并完成进口替代,从调研情况看,行业内新增产能基本都会采购国产磁控溅射设备。
先发厂商与跨界者的卡位差异
国内磁控溅射镀膜设备厂家主要集中在广东、安徽地区,包括广东腾胜、广东汇成、合肥东昇等。受制于设备制造工艺难度,各厂家之间技术差距很大。
先发厂商的优势来自长期沉淀而非单一工艺复用。以腾胜科技为例,其在磁控溅射领域钻研二十多年,专家是广东省真空卷绕镀膜设备行业标准的牵头制定者之一;从2016年开始布局复合铜箔设备,2017年推出国内首台量产型复合铜箔真空镀膜设备,2021年推出的二代机出口到日本的TDK。目前主力机型为2代机和2.5代机,生产良率可达90%,设计产能为行业同类设备的2.5倍。
| 参数 | 2代机 | 2.5代机 |
|---|---|---|
| 膜厚(nm) | 30 | 30 |
| 电阻(Ω) | 2.5 | 2.5 |
| 速度(m/min) | 13 | 20 |
| 单机年产能(万方) | 560 | 1100 |
产品已实现批量出货,客户包括日本TDK、宝明科技、万顺新材等。产能方面,新厂区一期工厂完工后产能将增加一倍至每年35台左右,后续还将进一步扩张。
跨界者方面,东威科技作为国内高端PCB设备龙头,凭借PCB电镀领域积累拓展复合铜箔水电镀设备,并引入新技术团队开发磁控溅射设备,为客户提供一体化服务,首台磁控溅射设备已经出货。道森股份则布局磁控溅射-蒸镀一体机,已收购深圳洪田并计划投入2.48亿元用于研发中心建设,针对该一体机重点布局。
格局走向:分散还是集中
判断关键在于"可切入"与"能卡位"的区别。工艺复用确实让更多光学、电子工业设备厂商具备试制能力,参与者数量趋于增加;但复合集流体设备的下游客户对良率、产能稳定性要求较高,而各厂家之间技术差距很大,起步较晚的厂商技术上还需要磨练。
同时,头部厂商正通过扩产锁定先发优势:腾胜科技加紧扩张产能,东威科技PCB电镀设备产能与复合铜箔设备产能通用、产线可灵活切换,并预计水电镀设备产能100-300台、磁控溅射设备产能50台。综合来看,短期格局更可能呈现"参与者增多、但头部卡位稳固"的状态,跨领域工艺复用能否改变龙头排序,需以后续第三方实测与公开订单数据验证。
常见问题
跨领域工艺复用会不会让磁控溅射设备竞争格局迅速分散?
工艺复用降低了切入门槛,潜在竞争者确实增多,但设备制造工艺难度决定了各厂家之间技术差距很大,先发厂商在量产良率、产能规模和客户验证上已有积累,格局不会因门槛降低而立即分散。
腾胜科技在国产磁控溅射设备中的位置如何?
腾胜科技在磁控溅射领域钻研二十多年,专家是广东省真空卷绕镀膜设备行业标准牵头制定者之一,处于国产磁控溅射设备市场的第一梯队,占据半壁江山;主力2代机、2.5代机生产良率可达90%,设计产能为行业同类设备的2.5倍。
水电镀设备环节的格局与磁控溅射有何不同?
复合铜箔水电镀设备属于全新设备:传统水电镀多为垂直电镀,复合铜箔用的是水平电镀,且基材更薄、幅宽增加,工艺改进难度更高,基本相当于一种全新设备。目前能够供应复合铜箔水电镀设备的厂商只有东威科技一家。