复合集流体各工艺路线目前仍处于下游客户测试阶段,客户对各种方案态度较为开放。从产业化节奏看,两步法成熟度最高,是当前的主流路线,代表厂商包括宝明科技、双星新材;三步法由重庆金美、万顺新材推进,以真空蒸镀替代部分磁控溅射以提升效率,但复杂度相应增加;一步法近期受到市场关注,代表方案为三孚新科的全湿法(化学沉积)与道森股份的全干法(磁控溅射),但真空蒸镀与化学沉积两种底层工艺仍存在待完善之处。任何一种路线都有可能成为未来的发展趋势,节奏取决于测试验证与技术完善的进展。

各路线的基本构成与成熟度

所有技术路线,本质上都是磁控溅射、真空蒸镀、水电镀、化学沉积四种底层工艺的排列组合。

两步法为磁控溅射加水电镀:磁控溅射打底提供结合力,水电镀作为成熟工艺提升效率,因此成熟度最高。三步法在此基础上加入真空蒸镀,用其替代部分磁控溅射以提升效率,代价是流程复杂度增加。一步法分为全湿法与全干法两个方向,共同特点是步骤简单。

一步法受关注的原因与待解问题

一步法近期受到关注,与其工艺特点直接相关。化学沉积法可解决电化学沉积的边缘效应,提升镀铜层均匀性,从而做出更大宽幅,同时工序简单、良率表现较好;但金属在基膜表面的附着力相对不强烈,存在脱铜风险,污水处理等成本也较高。真空蒸镀沉积效率较高,但高温环境易造成高分子材料损伤,影响良率,产业上仍需时间解决。这些问题决定了相关路线从测试走向规模量产,仍存在不确定性。

常见问题

目前哪种复合集流体工艺最成熟?

两步法(磁控溅射+水电镀)成熟度最高,是当下的主流路线,代表厂商有宝明科技、双星新材。其中磁控溅射与水电镀本身都是相对成熟的底层工艺,这是该路线率先推进的主要原因。

一步法会取代两步法吗?

目前下游客户对各种工艺方案仍处于测试阶段,态度比较开放。一步法步骤简单、各具特点,但真空蒸镀与化学沉积仍存在良率、附着力或成本方面的问题需要技术完善,因此路线格局尚未定型,任何一种方法都有可能成为未来的发展趋势。

三步法的推进逻辑是什么?

三步法由重庆金美、万顺新材推进,思路是用效率相对更高的真空蒸镀替代部分磁控溅射,以提升生产效率。代价是工艺复杂度相应增加,需要在效率与稳定性之间取得平衡。