复合集流体的竞争格局,本质上是四种底层工艺——磁控溅射、真空蒸镀、水电镀、化学沉积——的排列组合结果。当前两步法(磁控溅射+水电镀)成熟度最高,是主流路线,代表厂商包括宝明科技、双星新材等大部分厂商;三步法由重庆金美、万顺新材以真空蒸镀替代部分磁控溅射;一步法则分化为全湿法(化学沉积,代表三孚新科、智动力)与全干法(磁控溅射,代表道森股份)。 各路线各有优劣,下游客户目前均处于测试阶段,对各类方案态度较为开放。
两步法:成熟度最高的主流路线
两步法采用磁控溅射打底、水电镀增厚的组合。磁控溅射沉积的金属层附着力较强,但铜膜沉积速率较慢、生产效率偏低;水电镀技术成熟稳定,生产效率更高,可直接一步成型,对设备和环境要求相对不高。两步法先用磁控溅射镀上种子铜层,再由水电镀完成剩余沉积,兼顾结合力与效率,因此成为多数厂商的选择。
三步法与一步法:效率与工序的取舍
三步法在两步法基础上引入真空蒸镀。真空蒸镀工艺相对简单、对铜的沉积效率更高,可加快生产节拍,但高温环境易损伤高分子材料,存在良率问题,产业上仍需时间解决。
一步法近期受到市场关注,分为两条路径:全湿法以化学沉积为核心,可解决电化学沉积的边缘效应,提升镀铜层均匀性,支持更大幅宽,工序简单、良率高,但金属附着力相对不强烈,存在脱铜风险,污水处理等成本也较高;全干法以磁控溅射直接完成,结合力强、步骤简单,但效率相对较低。
常见问题
两步法为什么被认为是成熟度最高的路线?
两步法由磁控溅射与水电镀组成,前者提供结合力强的种子层,后者作为成熟工艺提升效率,两者配合在产业中应用最广,代表厂商包括宝明科技、双星新材等大部分厂商。
一步法全湿法与全干法的代表厂商分别是谁?
全湿法以化学沉积为核心,代表厂商为三孚新科、智动力;全干法以磁控溅射为核心,代表厂商为道森股份。两条路径共同构成一步法的主要阵营。
三步法与两步法的核心区别是什么?
三步法在磁控溅射与水电镀之间加入真空蒸镀,用其替代部分磁控溅射以提升效率,但工艺复杂度相应增加,代表厂商为重庆金美和万顺新材。