复合集流体产业化面临的核心工艺瓶颈,正是真空蒸镀的高温环境容易损伤高分子基膜,导致良率偏低。目前,多家龙头厂商已通过不同技术路线布局突破,其中磁控溅射+水电镀的两步法成熟度最高,而尝试引入真空蒸镀的三步法和一步法(全干法/全湿法)也在加速推进,各有优劣。

技术路线之争:两步法仍是主流,三步法探索效率

当前行业主流是两步法,即“磁控溅射+水电镀”,代表厂商包括宝明科技、双星新材等。磁控溅射沉积的金属层附着力强,但效率较慢;水电镀则效率高、技术成熟,二者组合是当下最稳妥的方案。

为提升效率,重庆金美和万顺新材尝试在三步法中引入真空蒸镀,替代部分磁控溅射。真空蒸镀的沉积效率更高,能加快生产节拍,但高温环境易损伤基膜,导致良率降低——这一问题仍是当前产业化需要攻克的关键。

一步法:全干法与全湿法的新突破

最近半年,一步法路线受到市场广泛关注。全干法(全真空制程)代表为道森股份,采用双面磁控溅射直接镀至所需厚度,步骤简单但效率相对较低。全湿法(化学沉积)代表为三孚新科、智动力,工序简单、理想良率高(三孚新科目标良率达95%),但存在金属附着力弱、脱铜风险及环保成本等问题。

所有技术路线本质上都是磁控溅射、真空蒸镀、水电镀、化学沉积四种底层工艺的排列组合,未来哪一种方法能率先在良率与效率上取得平衡,仍待产业验证。

常见问题

真空蒸镀良率低的核心原因是什么?

真空蒸镀在高温环境下进行,容易造成高分子基材的损伤,进而导致复合铜箔良率下降。该问题在产业上仍需时间解决。

哪些公司在真空蒸镀路线上有布局?

重庆金美和万顺新材是主要探索者,它们在两步法基础上引入真空蒸镀,形成“磁控溅射+真空蒸镀+水电镀”的三步法路线,试图提升生产效率。

一步法相比两步法的主要优势是什么?

一步法(全干法或全湿法)工序更简单,理想状态下良率更高。例如全湿法化学沉积可解决边缘效应、增大幅宽,目标良率达95%;但附着力弱、环保成本高等问题仍需改进。

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