大马士革刻蚀长期由海外设备巨头占据主导,随着中微公司在该领域的开发工作接近完成并即将进入市场,这一环节的供应格局将迎来实质性变化:国产设备入场将打破单一卖方主导的定价模式,价格传导机制从“卖方定价”逐步转向“多方竞争定价”,晶圆厂在采购中的议价空间有望扩大,设备采购成本存在下行可能。

从垄断到竞争:大马士革刻蚀的格局变化

在刻蚀设备领域,中微公司以电容性等离子体刻蚀(CCP)设备见长,制程工艺覆盖 65nm 至 5nm,并已进入台积电 7nm 和 5nm 产线。但在 CCP 设备版图中,用于逻辑芯片的大马士革刻蚀此前一直由国外设备公司垄断,是中微公司产品线的明确短板。

据官方资料,中微公司大马士革刻蚀产品的开发工作已接近完成,初步 Demo 结果良好,很快就能进入市场。这意味着该细分领域将由海外厂商主导的垄断格局,转变为国产设备厂商参与的竞争格局。

价格传导机制的变化

垄断格局下,大马士革刻蚀设备的价格传导路径相对单一:海外龙头厂商掌握定价权,晶圆厂作为采购方议价空间有限。国产设备进入市场后,价格传导机制将发生两方面变化:

  • 供给端竞争加剧:晶圆厂在采购中拥有更多供应商选择,海外厂商的定价权被稀释,设备价格将更多由市场竞争决定。
  • 采购成本中枢下移:国产设备在性能达标的前提下,通常具备成本优势,晶圆厂可借此优化设备采购成本结构。

从市场整体看,刻蚀设备的需求仍在持续增长——制程升级与 3D 结构发展使刻蚀次数大幅增加,晶圆厂对刻蚀设备的数量和质量要求不断提升,这为国产设备厂商提供了充足的市场空间。

议价能力的重构

中微公司在大陆刻蚀设备市场的份额约 20%,是国产刻蚀设备的主力厂商之一。随着大马士革刻蚀产品落地,其 CCP 产品版图将趋于完整,在客户采购谈判中的产品组合话语权也将增强。

对晶圆厂而言,国产设备的进入意味着供应链安全性和成本可控性的双重提升:一方面减少了对单一海外供应商的依赖,另一方面在价格谈判中拥有了更主动的地位。

常见问题

中微公司的大马士革刻蚀产品进展如何?

中微公司大马士革刻蚀产品的开发工作已接近完成,初步 Demo 结果良好,很快就能进入市场。该产品将补全其在 CCP 设备领域的产品版图。

国产大马士革刻蚀设备进入市场后,价格会下降吗?

国产设备进入市场将打破海外厂商的垄断定价,晶圆厂在采购中获得更多选择空间,价格将由多方竞争决定,采购成本存在下行可能。

除大马士革刻蚀外,中微公司还有哪些产品布局?

中微公司同时布局 CCP 和 ICP 两类刻蚀设备,ICP 设备制程已达 28nm,并正在研发用于 5nm 逻辑芯片及 1Xnm 内存芯片的下一代产品。

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