道森股份收购洪田并投入2.48亿元布局磁控溅射-蒸镀一体机，标志着复合集流体设备行业正从两步法主导走向多路线并行，国产设备替代进口的进程正在加速，行业迎来关键拐点。道森股份通过收购深圳洪田，计划投入2.48亿元用于研发中心建设，重点布局磁控溅射-蒸镀一体机，样机预计在23年二季度推出，为设备行业增添了新的竞争变量。

主流两步法格局：磁控溅射+水电镀

当前复合集流体设备行业的主流技术路线是两步法，即磁控溅射+水电镀。磁控溅射设备曾经以进口为主，来源包括应用材料、爱发科等公司，但进口设备造价普遍是国产设备的3倍左右，生产周期长且维护困难。随着产业发展，国产设备已基本完成进口替代，行业内新增产能基本都会采购国产设备。

在磁控溅射领域，腾胜科技处于国产设备市场的第一梯队，占据了半壁江山。公司拥有二十五年真空镀膜技术沉淀，主力机型为2代机和2.5代机，生产良率可达90%，设计产能为行业同类设备的2.5倍。

水电镀设备方面，目前能够供应复合铜箔水电镀设备的厂商只有东威科技一家。东威科技凭借在PCB电镀领域的技术积累，发明了无张力同步传输、电流均匀传导等关键技术，其双边夹式设备良率可达90%以上。东威科技还引入了新的技术团队开发磁控溅射设备，为客户提供一体化服务。

新路线浮现：一体机带来的竞争变量

道森股份的入局，为行业带来了新的工艺路线变量。公司收购深圳洪田后，计划投入2.48亿元用于研发中心建设，针对磁控溅射-蒸镀一体机重点布局，样机预计在23年二季度推出。

这一布局的意义在于，它将磁控溅射与蒸镀两道工序集成于一台设备，有望简化生产流程、降低设备采购成本。在此之前，行业内的其他工艺路线还包括三孚新科的化学沉积一步法，其化学镀铜设备已获得客户订单，良率达到95%。

常见问题

磁控溅射-蒸镀一体机相比两步法有何优势？

一体机将磁控溅射与蒸镀集成于单台设备，理论上可简化生产流程、减少设备占地面积和投资成本。不过该机型尚处于研发阶段，实际性能表现需待样机推出后验证。

国产磁控溅射设备为何能完成进口替代？

国产设备性价比优势明显，进口设备造价是国产设备的3倍左右，且生产周期长、维护困难。随着国产设备技术逐渐成熟，行业内新增产能已基本转向采购国产设备。

复合集流体设备行业的竞争格局将如何演变？

当前两步法设备格局较为清晰：腾胜科技主导磁控溅射设备，东威科技独家供应水电镀设备。随着道森股份一体机、三孚新科化学镀铜等新路线逐步成熟，行业正从单一主流路线走向多路线并行，竞争格局存在重塑可能。