在复合集流体产业加速扩产的背景下，磁控溅射设备已基本完成进口替代，国产设备成为新增产能的主流选择。道森股份通过收购深圳洪田并投入2.48亿元研发磁控溅射-蒸镀一体机，正是产业链自主可控进程中的关键一步——该一体机若实现国产化突破，将填补国产设备在“磁控溅射+蒸镀”复合工艺环节的空白，进一步降低对进口高端设备的依赖。
国产替代大势：从“进口为主”到“国产主导”
复合集流体产业发展初期，磁控溅射设备以进口为主，来源包括应用材料、爱发科等海外公司。进口设备虽然运行稳定，但造价普遍是国产设备的3倍左右，且生产周期长、后续维护困难。随着产业发展，国产设备凭借高性价比逐渐切入并完成进口替代，目前行业内的新增产能基本上都会采购国产磁控溅射设备。
在国产设备阵营中，腾胜科技凭借二十余年的真空镀膜技术沉淀，处于磁控溅射设备市场第一梯队，占据了半壁江山。该公司从2016年开始布局复合铜箔设备，主力机型已迭代至2.5代机，生产良率达到90%，设计产能达到行业同类设备的2.5倍。
道森股份的一体机布局：攻坚复合工艺难点
在两步法（磁控溅射+水电镀）成为主流技术路线的同时，道森股份选择了一条差异化的技术路径——布局磁控溅射-蒸镀一体机。公司已收购深圳洪田，并计划投入2.48亿元用于研发中心建设，针对该一体机重点布局，样机计划于特定时间节点推出。
这一布局的意义在于：磁控溅射与蒸镀是两种不同的真空镀膜工艺，将二者集成于一台设备，对真空腔室设计、卷绕传输系统、工艺切换控制等都提出了更高要求。国产设备厂商此前在单一磁控溅射环节已实现突破，但一体机的集成化研发仍是技术难点。道森股份的一体机若能成功落地，将为复合集流体厂商提供更紧凑、高效的设备方案，强化产业链的自主可控能力。
常见问题
磁控溅射设备国产替代完成了吗？
基本完成。从行业调研来看，目前新增产能基本上都会采购国产磁控溅射设备，进口设备因价格昂贵（约为国产3倍）、生产周期长、维护困难，已不再是新增产能的主流选择。
道森股份的一体机与现有两步法设备是什么关系？
道森股份布局的是磁控溅射-蒸镀一体机，属于对真空镀膜工艺的集成创新。它与主流的“磁控溅射+水电镀”两步法路线不同，将两种真空镀膜工艺集成于一台设备，目前样机尚未推出，具体性能参数有待后续验证。
国产磁控溅射设备的技术水平如何？
国产设备龙头如腾胜科技，拥有二十多年真空镀膜技术沉淀，其主力机型生产良率可达90%，设计产能为行业同类设备的2.5倍，产品已批量出货至日本TDK、宝明科技、万顺新材等客户。不过各厂商之间技术差距较大，国产设备整体水平的进一步提升仍需持续投入。