复合集流体设备正从“单台设备”走向“一体化集成”，道森股份布局的磁控溅射-蒸镀一体机，有望成为这一演进路径上的下一关键拐点。回顾行业历程，设备形态经历了从进口依赖到国产替代、从单一工艺分体设备到多工艺集成的清晰脉络，而集成化能否解决工艺兼容性与良率问题，将决定其能否真正打开新局面。
从进口依赖到国产替代
复合集流体磁控溅射设备在产业发展初期以进口为主，来源包括应用材料、爱发科等海外企业，其设备调试后运行稳定，但造价约为国产设备的3倍，生产周期长且维护难度大。随着产业发展，国产设备凭借高性价比逐渐切入，目前行业新增产能基本采购国产磁控溅射设备，进口替代已基本完成。
在竞争格局上，国内磁控溅射设备厂家集中在广东、安徽地区，各厂家技术差距较大。其中腾胜科技凭借二十余年的技术沉淀，处于国产磁控溅射设备市场第一梯队，占据了半壁江山。
从分体设备到一体化集成
两步法（磁控溅射+水电镀）是当前主流技术路线。水电镀设备方面，复合铜箔用的水平电镀设备与传统垂直电镀差异显著，基本属于全新设备，目前仅有东威科技能够量产供应。东威科技在提供水电镀设备的同时，也已引入新团队开发磁控溅射设备，为客户提供一体化服务。
道森股份则更进一步，直接布局磁控溅射-蒸镀一体机，将两种工艺集成于单台设备。公司已收购深圳洪田，并计划投入2.48亿元用于研发中心建设，针对一体机重点布局，样机计划于2023年二季度推出。这种从“分体”到“一体”的集成化尝试，若能在工艺兼容性与良率上取得突破，有望成为复合集流体设备行业演进的新拐点。
常见问题
磁控溅射设备国产替代完成了吗？
基本完成。海外设备虽技术领先，但造价约为国产的3倍，目前行业新增产能基本采购国产设备，腾胜科技处于第一梯队，占据国内磁控溅射市场半壁江山。
谁能提供复合集流体一体化设备服务？
东威科技是目前唯一能量产复合铜箔水电镀设备的厂商，并已布局磁控溅射设备，可为客户提供一体化服务；道森股份则正在开发磁控溅射-蒸镀一体机，将两种工艺直接集成于单台设备。
道森股份一体机何时推出？
道森股份已收购深圳洪田，计划投入2.48亿元用于研发中心建设，重点布局磁控溅射-蒸镀一体机，样机计划于2023年二季度推出。