道森股份布局磁控溅射-蒸镀一体机，国产复合集流体设备自主可控进程如何？

道森股份正通过布局磁控溅射-蒸镀一体机，为国产复合集流体设备的自主可控进程再添一块拼图。在此之前，国产磁控溅射设备已凭借高性价比基本完成进口替代，而道森股份的一体机布局，有望将国产设备的自主可控能力从单一环节推向集成化方案。

磁控溅射设备：从进口依赖到基本完成替代

复合集流体产业初期，磁控溅射设备以进口为主，来源包括应用材料、爱发科等海外企业。当时海外设备调试后运行稳定，但进口设备造价普遍是国产设备的3倍左右，且生产周期长、后续维护困难。

随着复合集流体产业发展，国产设备逐渐切入并完成了进口替代。从行业调研来看，行业内新增产能基本都会采购国产磁控溅射设备。目前国内磁控溅射镀膜设备厂家主要集中在广东、安徽地区，其中腾胜科技凭借二十余年的技术沉淀，处于国产磁控溅射设备市场第一梯队，占据了半壁江山。

在两步法（磁控溅射+水电镀）成为主流技术路线的背景下，道森股份选择布局磁控溅射-蒸镀一体机。公司已收购深圳洪田，并计划投入资金用于研发中心建设，针对磁控溅射-蒸镀一体机重点布局，样机计划于后续季度推出。

这一布局的意义在于：当前磁控溅射设备国产替代已基本完成，水电镀设备则由东威科技独家供应，而道森股份的一体机方案，是将镀膜环节集成化的新尝试，有望为下游客户提供更紧凑的设备选择，进一步巩固国产设备在复合集流体装备领域的自主可控地位。

国产复合集流体设备的竞争力主要体现在三个方面：

道森股份已收购深圳洪田，并计划投入2.48亿元用于研发中心建设，针对磁控溅射-蒸镀一体机重点布局，样机计划于后续季度推出。

基本完成。从行业调研来看，行业内新增产能基本都会采购国产磁控溅射设备，进口设备造价为国产的3倍左右，性价比差距推动了替代进程。

磁控溅射领域以腾胜科技为第一梯队代表；水电镀设备目前由东威科技独家供应，其还布局了磁控溅射设备提供一体化服务；三孚新科的化学镀铜设备已获得订单。