道森股份正在研发磁控溅射-蒸镀一体机，这是中国设备企业在复合集流体设备领域从“进口替代”走向“全球竞争”的又一个标志性动作。在复合集流体设备的两大核心环节——磁控溅射与水电镀——中国厂商已基本完成国产替代，而一体机的推出，有望帮助中国设备企业在全球格局中占据更有利的位置。

磁控溅射设备：从进口依赖到国产主导

磁控溅射设备是复合铜箔两步法工艺的核心设备之一。在复合集流体产业发展初期，海外企业技术水平领先，设备调试后运行稳定，当时市场以进口为主，主要来源包括应用材料、爱发科等公司。但进口设备造价约为国产设备的3倍，生产周期长，后续维护也较困难。

随着产业发展，国产设备凭借高性价比逐渐切入，目前行业内的新增产能基本都会采购国产磁控溅射设备，进口替代已基本完成。国内厂商主要集中在广东、安徽地区，包括广东腾胜、广东汇成、合肥东昇等，其中腾胜科技处于国产磁控溅射设备市场的第一梯队，占据了半壁江山。

水电镀设备：国产厂商的独特优势

水电镀是两步法的另一核心环节，但复合铜箔用的水电镀设备与传统PCB电镀设备差异很大——传统工艺一般为垂直电镀，而复合铜箔要求水平电镀，基材更薄、幅宽增加，工艺难度显著提升，基本上相当于一种全新的设备。

目前能够供应复合铜箔水电镀设备的厂商只有东威科技一家。该公司凭借在PCB电镀领域的技术积累，发明了无张力同步传输、电流均匀传导等关键技术，解决了复合铜箔容易拉伸变形、电镀不均匀等痛点。其双边夹式设备良率可达90%以上，已获得批量订单。

道森股份一体机：迈向全球竞争的新变量

在两大主流设备格局基本清晰的同时，道森股份正在布局磁控溅射-蒸镀一体机。公司已收购深圳洪田，并计划投入2.48亿元用于研发中心建设，针对一体机重点布局，样机预计在2023年二季度推出。

一体机的意义在于将多道工艺集成于一台设备，对设备商的综合技术能力要求更高。目前中国设备企业在磁控溅射领域已完成进口替代，在水平电镀领域更是全球独有供应能力，一体机的推出有望进一步巩固中国在复合集流体设备领域的全球竞争力。至于能否在海外市场与国际设备商正面竞争，仍需以设备量产后的实际表现和第三方验证为准。

常见问题

复合集流体设备全球格局中，中国处于什么位置？

在磁控溅射设备领域，中国已完成进口替代，新增产能基本采购国产设备；在水平电镀设备领域，目前全球仅有东威科技能够供应复合铜箔水电镀设备。整体来看，中国设备企业在复合集流体两大核心环节已具备全球领先的供应能力。

道森股份的一体机与国际设备商相比如何？

道森股份的磁控溅射-蒸镀一体机尚处于研发阶段，样机预计在2023年二季度推出。国际设备商如应用材料、爱发科在磁控溅射领域技术积累深厚，设备稳定性好，但造价约为国产设备的3倍。一体机能否在性能与成本上形成综合优势，需待样机发布及后续实测验证。

中国复合集流体设备是否有出口能力？

已有先例。国内磁控溅射设备龙头腾胜科技，其2021年推出的二代机已出口至日本TDK，证明了中国设备具备进入国际供应链的能力。随着一体机等新产品的推出，中国设备企业在全球市场的参与度有望进一步提升。