道森股份布局的磁控溅射-蒸镀一体机,其核心竞争壁垒在于将原本分离的两道镀膜工序集成于一台设备,有望减少工序、提升良率,从而形成与主流两步法差异化的技术路线。目前该设备尚处于研发阶段,计划于2023年二季度出样机,其实际性能与量产优势仍需以设备落地后的验证为准。

一体机 vs. 两步法:技术路线差异

当前复合集流体行业的主流技术路线是“两步法”,即先通过磁控溅射在基膜表面形成种子层,再通过水电镀加厚铜层。这一路线相对成熟,但涉及两种独立设备的衔接与匹配。

道森股份布局的磁控溅射-蒸镀一体机,则是将磁控溅射与蒸镀两种工艺集成于单台设备中完成。公司已收购深圳洪田,并计划投入2.48亿元用于研发中心建设,针对该一体机重点布局。从工艺逻辑上看,一体化设计省去了两步法中的转序环节,理论上有利于减少工序、提升良率、降低成本,这也是其构建差异化竞争壁垒的出发点。

竞争格局中的差异化定位

在现有设备商中,磁控溅射设备领域以腾胜科技为代表,其技术沉淀深厚,处于国产设备第一梯队;水电镀设备目前主要由东威科技供应,且东威已同时布局磁控溅射设备,提供一体化服务。此外,三孚新科推出了化学沉积一步法设备并已获得订单。

相比之下,道森股份选择的是“磁控溅射+蒸镀”的集成路线,与上述厂商的“磁控溅射+水电镀”两步法或化学沉积一步法均不相同。这一路线能否在良率、速度与成本上形成对现有路线的替代优势,需待样机推出后的实际性能数据及下游客户验证,目前尚难以下定论。

常见问题

磁控溅射-蒸镀一体机相比两步法的核心优势是什么?

核心优势在于工艺集成。两步法需要磁控溅射和水电镀两台设备配合,而一体机将两种工艺合而为一,理论上可减少工序衔接、提升良率并降低综合成本。但该设备尚未量产,实际优势需以出样机后的实测表现为准。

道森股份的一体机与东威科技、腾胜科技的产品有何不同?

腾胜科技专注磁控溅射设备,东威科技主导水电镀设备并延伸至磁控溅射,两者本质上仍服务于两步法路线。道森股份的一体机则将磁控溅射与蒸镀集成,属于不同的工艺组合,目前行业内成熟度不高,仅有少量设备出货。

道森股份的一体机目前进展如何?

道森股份已收购深圳洪田,并计划投入2.48亿元用于研发中心建设,重点布局磁控溅射-蒸镀一体机,样机计划于2023年二季度推出。该设备仍处于研发阶段,其量产性能与市场接受度有待后续验证。