复合集流体镀膜的主流路线是磁控溅射+水电镀两步法,道森股份则选择布局磁控溅射-蒸镀一体机,将两种镀膜工艺集成于单一设备。这一路线的核心差异在于工艺集成度更高,但同时也对设备在不同真空环境下的兼容性与良率控制提出了更高要求,构成了后来者需要跨越的工程壁垒。

一体机路线与两步法设备的差异

当前复合铜箔生产中,磁控溅射+水电镀组成的两步法已经比较成熟,是行业主流技术路线。其中,磁控溅射设备主要用于在基膜表面形成种子层,而水电镀设备则负责后续加厚镀层。

道森股份布局的磁控溅射-蒸镀一体机,是将磁控溅射与蒸镀两种镀膜工艺集成在单一设备中完成。相比两步法设备需要分属不同环节、不同设备完成镀膜,一体机的工艺集成度更高,理论上能减少基膜在不同设备间流转带来的损耗与效率损失。但这也意味着设备需要解决不同镀膜工艺在同一真空环境中的兼容性问题,以及工艺切换过程中的良率控制,这些都属于工程实现上的难点。

行业格局与后来者的追赶壁垒

在两步法设备领域,行业格局已经较为清晰。磁控溅射设备方面,腾胜科技在国产厂商中处于第一梯队,占据了半壁江山;水电镀设备方面,东威科技是目前能够供应复合铜箔水电镀设备的厂商,并已获得批量订单。

相比之下,道森股份属于新进入者。公司已收购深圳洪田,并计划投入2.48亿元用于研发中心建设,针对磁控溅射-蒸镀一体机重点布局,样机预计在后续季度推出。作为新进入者,道森股份在工艺know-how积累、客户验证周期等方面,与已实现批量出货的设备厂商相比,仍存在需要追赶的差距。

常见问题

磁控溅射-蒸镀一体机与两步法设备哪个更好?

两种路线各有侧重。两步法是当前成熟的主流路线,设备供应格局已基本清晰;一体机路线工艺集成度更高,但尚处于布局阶段,实际量产表现仍需验证。两种路线孰优孰劣,需以后续设备实际运行数据及第三方实测为准。

道森股份的一体机设备目前进展如何?

道森股份已收购深圳洪田,并计划投入2.48亿元用于研发中心建设,重点布局磁控溅射-蒸镀一体机。根据公司规划,样机预计在后续季度推出,目前尚未进入批量出货阶段。

复合集流体镀膜设备的竞争格局如何?

磁控溅射设备领域,腾胜科技处于国产第一梯队,占据半壁江山;水电镀设备领域,东威科技是目前唯一能够供应的厂商,并已获得批量订单。道森股份作为新进入者布局一体机路线,与已量产厂商相比,在工艺积累与客户验证方面仍需时间追赶。

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