鼎龙股份通过潜江工厂软垫产线的投产,实现了全系列全制程抛光垫的生产能力。半导体材料的技术壁垒主要体现于CMP抛光垫的微孔结构设计、硬度与弹性平衡、批次一致性控制,以及晶圆厂严格的认证周期。鼎龙作为国内率先实现抛光垫量产的企业,其技术积累和全制程覆盖能力使其具备了与海外厂商竞争的实力。
技术壁垒的核心:微孔结构与材料配方
CMP抛光垫的生产难点在于聚氨酯孔洞结构的规整程度。抛光垫是一种疏松多孔的材料,其微孔结构直接决定抛光效率,是衡量质量的核心指标。然而,这部分的生产专利长期掌握在海外巨头手中,形成了技术壁垒。鼎龙股份凭借在高分子合成领域的技术积累,填补了国内在抛光垫原材料和制造方面的专利空白,并实现了核心原材料的自产化。
此外,抛光垫的配方与工艺涉及大量Know-how经验,包括硬度与弹性的平衡、批次一致性控制等,需要长期的技术积累和研发尝试。
全制程能力:从硬垫到软垫的全面覆盖
鼎龙股份的抛光垫产品已覆盖28nm及以上全部制程,客户包括长江存储、中芯国际等国内主流晶圆厂,部分晶圆厂内已达成一供地位。随着潜江工厂软垫产线的投产,公司实现了全系列(硬垫与软垫)和全制程的抛光垫生产能力。硬垫与软垫的价值量比例在全球约为8:1,软垫主要应用于先进制程,全制程能力意味着鼎龙能够满足从成熟制程到先进制程的多样化需求。
常见问题
鼎龙股份的抛光垫技术壁垒主要体现在哪些方面?
主要体现在微孔结构的规整程度、配方与工艺的Know-how经验、以及核心原材料的自产化。这些壁垒需要通过长期的技术积累和研发投入来突破。
鼎龙股份的抛光垫产品覆盖了哪些制程?
鼎龙股份的硬垫产品覆盖了28nm及以上全部制程,并在14nm等更先进制程上部分已通过认证,部分测试正在推进中。
鼎龙股份的全制程生产能力意味着什么?
意味着鼎龙能够同时提供硬垫和软垫产品,覆盖从成熟制程到先进制程的各类抛光需求,具备了与海外厂商在全球化市场竞争的实力。