全球抛光垫市场长期由海外厂商主导,据2019年全球抛光垫竞争格局数据,美国杜邦以79%的份额占据绝对主导地位,美国卡博特微电子、美国TWI、日本富士纺、日本JSR株式会社等海外企业合计占据绝大部分市场。在这一格局下,鼎龙股份是中国内地抛光垫领域实现产品量产的代表性企业:截至2018年8月,鼎龙化学以7件专利位列中国内地抛光垫领域第二大专利权人,填补了国内在抛光垫原材料和制作方面的专利空白,并于2021年实现核心原材料的自产化。

全球抛光垫格局:美企主导,国产化诉求强烈

抛光垫是CMP(化学机械抛光)工艺的两大核心材料之一,在CMP抛光材料成本中占比约33%。与硅片、光刻胶由日企主导不同,抛光垫市场完全由美企主导,杜邦公司和卡博特微电子占据绝大多数市场份额,部分细分产品很难在日韩找到替代品。正因如此,国内晶圆厂对抛光垫的国产化诉求很高。

抛光垫的国产化难点集中在聚氨酯的孔洞结构规整程度——孔洞结构的规整程度决定抛光效率,是衡量抛光垫质量的核心指标之一,而相关生产专利长期掌握在海外巨头手中。

鼎龙股份的位置:专利第二、核心原材料自产

鼎龙股份最初从事打印耗材业务,在材料领域有较强的技术积累,2012年左右进入半导体材料领域,借助高分子合成技术与抛光垫材料的相通之处拓展业务。

从专利维度看,截至2018年8月,中国内地抛光垫领域五大专利权人中,中芯国际以20件居首,鼎龙化学以7件位列第二,南京航空航天大学同为7件。中芯国际的专利更多集中在应用领域,而鼎龙填补了国内在抛光垫原材料和制作方面的专利空白,并于2021年实现核心原材料的自产化。

在产品与客户层面,鼎龙硬垫产品覆盖28nm及以上全部制程,在存储芯片领域,公司部分抛光垫产品效率高于海外品牌,可有效降低用户成本。客户包括长江存储、武汉新芯、中芯国际、长鑫存储等国内主流晶圆厂,部分晶圆厂内达到一供地位。

维度鼎龙股份情况
专利地位截至2018年8月,中国内地抛光垫领域第二大专利权人(7件)
技术突破填补国内抛光垫原材料和制作方面的专利空白
原材料2021年实现核心原材料自产化
制程覆盖硬垫覆盖28nm及以上全部制程
客户长江存储、武汉新芯、中芯国际、长鑫存储等国内主流晶圆厂

常见问题

鼎龙股份在抛光垫领域的专利地位如何?

截至2018年8月,鼎龙化学以7件专利位列中国内地抛光垫领域第二大专利权人,仅次于中芯国际的20件。其专利方向侧重于抛光垫原材料和制作,填补了国内在该环节的专利空白。

鼎龙股份的抛光垫产品覆盖哪些制程和客户?

鼎龙硬垫产品覆盖28nm及以上全部制程,14nm节点部分已认证通过、部分测试推进中。客户涵盖长江存储、武汉新芯、中芯国际、长鑫存储等国内主流晶圆厂,部分晶圆厂内达到一供地位。

鼎龙股份在核心原材料方面取得了什么进展?

鼎龙股份于2021年实现了抛光垫核心原材料的自产化,这有助于降低对海外供应链的依赖,也为其后续拓展海外市场提供了基础。