在复合集流体的制造设备中,水电镀环节的国产化程度明显高于磁控溅射环节。从东吴证券研究所汇总的国内主要复合铜箔制造商设备选型看,重庆金美、宝明科技、双星新材、纳力新材料、汉崧新材等厂商的水电镀设备均采用东威科技,而磁控溅射环节仍有厂商选用应用材料等海外供应商。东威科技之所以成为多家厂商的共同选择,核心在于它是这一环节中被最多国内主流厂商实际采用的国产设备供应商。

各厂商设备选型对比

据东吴证券研究所汇总,几家主要厂商的路线与设备搭配如下:

企业技术路线磁控溅射设备水电镀设备
重庆金美三步法海格瑞特东威科技+航天四院
宝明科技两步法/三步法自供+腾胜科技东威科技
双星新材两步法腾胜科技东威科技
纳力新材料—腾胜科技东威科技
汉崧新材一步法腾胜科技+自产东威科技
万顺新材三步法应用材料应用材料

从这张表可以看到,磁控溅射环节的供应商较为分散,既有国产的腾胜科技、海格瑞特,也有厂商选择自供,万顺新材则整套采用应用材料;而水电镀环节则高度集中,东威科技是多家厂商共同的选择。

为什么水电镀环节国产替代更快

复合铜箔制造中,磁控溅射负责在基膜上形成初始导电层,对靶材、真空腔体和工艺控制要求较高;水电镀则是在此基础上加厚铜层。国内厂商在电镀工艺上积累较深,设备适配和产线配套相对成熟,这为国产设备切入提供了基础。

东威科技被广泛采用,也与其客户结构有关。采用其设备的厂商覆盖了不同技术路线和不同梯队——既有三步法的重庆金美、万顺新材(后者未采用),也有两步法的宝明科技、双星新材,还有一步法的汉崧新材。跨路线的采用,说明该设备在兼容性上得到了较多厂商的认可。

需要说明的是,复合集流体整体仍处于从零到一的阶段,竞争格局尚不明确,设备选型也会随验证进度和扩产节奏变化,后续格局需以厂商公开披露和第三方实测为准。

常见问题

复合集流体设备中,哪个环节国产化程度更高?

从现有厂商选型看,水电镀环节国产化程度较高,东威科技被重庆金美、宝明科技、双星新材、纳力新材料、汉崧新材等多家厂商采用;磁控溅射环节则仍有应用材料等海外供应商参与,供应商分布也更分散。

东威科技的水电镀设备被哪些厂商采用?

据东吴证券研究所汇总,采用东威科技水电镀设备的包括重庆金美(与航天四院同列)、宝明科技、双星新材、纳力新材料和汉崧新材,覆盖两步法、三步法和一步法等不同技术路线。

磁控溅射设备目前是否仍依赖进口?

部分厂商仍在采用海外设备,例如万顺新材的磁控溅射与水电镀均选用应用材料。但同时也有腾胜科技、海格瑞特等国产供应商,以及宝明科技、汉崧新材的自供方案,该环节的国产化仍在推进中。